DEA-J2007-009 多晶硅生长视频监测系统实施方案概要1.doc

多晶硅生长视频监测系统实施方案 1、多晶硅生长视频监视系统的需求分析 1.1多晶硅生长环境 作为半导体材料的多晶硅，工业上制取的方法有多种，目前国内大都采用三氯氢硅在高温下（1000～1200℃）用氢气还原的方法在还原炉内实现。 还原炉内装有12对多晶硅棒，它们实际上是串联在电路中的，先用高压击穿，后通低压电流升温，当达到反应条件后，将精制并净化后的氢气和三氯氢硅混合气体通入还原炉内进行还原反应，还原析出的高纯硅不断地在硅芯上沉积，同时又作为载体继续在其表面进行还原反应。在生产过程中要根据反应时间和反应情况不断调节通料量和混合气体的配比以及通过硅棒的电流，以保证还原反应在要求的温度范围内进行，从而保证多晶硅的质量。当认为硅棒达到规定的直径后，就停止还原反应并做好出炉的准备工作。 1.2多晶硅生长原有的测试方法 在生产过程中往往需要根据用户的要求而生产一定直径的多晶硅棒，多年来一直是根据生产工人的经验，用眼睛通过还原炉上的视镜来观察估计炉内硅棒的直径，由于生产工人的经验以及还原炉上视镜透明度的不同，常常造成观察估计的结果和出炉后实测直径有一定的出入，有时误差较大，给用户的使用和加工带来困难。 1.3多晶硅生长视频监测系统 鉴于现有测量多晶硅生长方法的陈旧和精度不高等问题，我们提出了多晶硅生长视频监测的方法来对多晶硅的生长直径进行测量和过程进行监测，同时能实现以下功能： （1）实现多晶硅生长尺寸测量，测试精度高于10%，建立尺寸-时间关系曲线。 （2）工人可在计算机屏幕前观测炉内情况。减轻劳动强度，提高工作效率，保障安全生产。 2.1 机器视觉的基本原理简述 多晶硅生长视频监测系统是以机器视觉方法实现对多晶硅尺寸的测量。机器视觉是研究用相机和计算机来模仿人的眼睛和大脑完成对目标的识别、跟踪和测量等任务的科学。通俗地说，就是用机器代替人眼来做测量和判断。它的工作过程大致为：首先，使用相机将被摄取目标转换成图像信号，传送给图像处理系统，图像系统对这些图像中包含的信息进行处理和计算；然后计算机根据处理的结果做出判断或决策；最后将结果存储、显示或将控制信号传送给执行机构。机器视觉的特点是自动化、客观、非接触和高精度，与一般意义上的图像处理系统相比，机器视觉强调的是精度和速度，以及工业现场环境下的可靠性。 2.2 机器视觉系统的基本结构设计 典型的PC式机器视觉系统一般由图像采集、图像分析处理、结果输出与执行几个部分组成。其中，图像采集部分的硬件主要包括：光源、镜头、相机、图像采集卡。图像采集部分的任务是将目标物体的特征信息进行光学成像，然后通过图像传感器将光信号转换为电信号传递给计算机的图像数据采集卡；图像分析处理部分由基于个人计算机平台上的图像处理分析软件实现；处理结果的输出可以利用计算机的通信接口也可以通过附加的硬件I/O设备来实现。机器视觉系统的硬件组成结构如图1所示。 图1 机器视觉系统的硬件组成基本结构 3、多晶硅生长视频监视系统的方案设计 3.1多晶硅视频监测位置设计 如图2所示是多晶硅在还原炉（外壳直径为1544mm，内壳直径为1440mm）内的布局（俯视图），最初多晶硅直径为8mm（图中24个小圆），两两间相距230mm。经过高温加热，多晶硅的直径随时间增长，长到150mm（图中24个大圆）时，需要停止加热。 图2 多晶硅还原炉俯视图 图3 外圈多晶硅棒的关系示意图 根据前述的已知参数，我们可以计算出多晶硅棒在还原炉内的确切位置。如图3所示，O和O1分别是外圈相邻两个多晶硅棒的圆心，即： C为还原炉的圆心，CD和OO1垂直，D为交点。因为所有多晶硅棒的间距相等，所以图3中的OO1是正十六边型的一条边，D为OO1中点则有： 则得到： 同理，参考上述R的计算方法，可以求得内圈（正十六边形变为正八边型）多晶硅棒圆心到还原炉圆心的距离为R1=。 根据工程要求，现只能在炉壁上开孔观察炉内多晶硅棒的生长情况。由于高温辐射，热量损失，所以开孔直径较小，为68mm。开孔位置为炉壁的开孔中心在外圈硅棒中心与还原炉中心的连线上，如图4中所示的1、4点位置所示。 图4 多晶硅还原炉开孔位置示意图 为了得到此方案中多晶硅棒生长直径成像的情况，我们有必要知道镜头放置的位置。如图5所示，当多晶硅棒的直径生长到150mm时，设摄像头到还原炉外壳的距离为A，所观测的多晶硅棒圆心到还原炉内壳的距离为B，以下给出A和B的具体计算方法： 图5 方案一测量位置示意图 由图2中的几何关系不难得到B+R等于还原炉内壳半径720mm，R=589.5mm，所以，。因此，当摄像头的距离达最远时，即有Amax时，有如下比例关系： 将B代入上式可以求得： 考虑多晶硅棒生长有±5％