厚膜电阻的研究现状及发展趋势.pdfVIP

厚膜电阻的研究现状及发展趋势／李 强等 ·31 · 厚膜 电阻的研究现状及发展趋势 李 强，谢 泉，马 瑞，黄 晋 (贵州大学电子信息学院新型光电子材料与技术研究所，贵阳 550025) 摘要 首先描述了厚膜 电阻的基本结构，介绍了制作厚膜 电阻的各种材料，然后详细地阐述 了厚膜 电阻的制 备工艺，探讨 了厚膜电阻的导电机理和近年来的发展趋势。 关键词 厚膜电阻 制备工艺 导电机理 中图分类号：TN304．2 文献标识码 ：A StudyonResearchStatusandDevelopmentTendencyoftheThickFilm Resistor LIQiang，XIEQuan，MARui，HUANGJin (InstituteofAdvancedOptoeleetronicMaterialsandTechnology，CollegeofElectronicInformation， GuizhouUniversity，Guiyang550025) Abstract Thebasicstructureofthickfilm resistorsisdescribed．Andthevariousmaterialsabouttheproduc— tionofthickfilm resistorsarecarriedonthedetailedintroduction．Thenthepreparationtechnologyofthickfilm resis— torsisreviewedindetail．Theconductivemechanism ofthickfilm resistorsincurrentresearcharepresented，what8 more，theresearchtrendsofthickfilm resistorarealsodiscussedbriefly． Keywords thickfilm resistor，preparationtechnology，conductivemechanism 的厚膜电阻。钌系厚膜 电阻因为其电气性能出色，工艺重复 0 引言 性高、稳定性好、阻值范围比较宽并且可在大气中烧成等一 从 2O世纪6O年代起，厚膜混合集成电路在集成电路中 系列优点，在厚膜混合集成电路的制造 中占有非常重要的地 成为一个重要的组成部分，与半导体集成电路开始相互促进 位 。构成厚膜 电阻浆料的各组分非常复杂，可分为导电相 补充、交叉渗透，被广泛地应用在 电路系统中。厚膜混合集 (如RuO、PbO。、Pd／Ag-PdO等)、玻璃相 (如硼、铅、铝硅酸 成电路可以简称为厚膜混合电路或厚膜 电路 ，即通过丝 网印 盐玻璃 ，硼硅酸盐玻璃等)、有机粘合剂 (含有机树脂与溶剂 刷和后续烧结等工艺在绝缘基片上制作出相互连接的导线、 等)和各种改性剂[3]。 电阻、电感等具备满足一定功能技术要求的电路单元。其因 从 2O世纪 7O年代至今，电子浆料在 电子工业领域的应 性能安全可靠、体积较小、设计灵活、功率大、成本低和性价 用得到了极大的发展，它在厚膜混合集成电路中得到了广泛 比高等优点在混合 电路产业 中占据了大约80 的市场份 的使用，电子浆料是制作 电子元器件的基础材料，可用作部 额 。 件封装、电极和互联材料 。电子浆料 以其产品经济效益好、 厚膜电阻作为厚膜 电路中最重要的元件，其发展最早， 技术先进、质量高、应用范围广等特点，在信息、电子领域 占 制造技术也最为成熟。厚膜