多孔硅在传感器中的应用研究进展.pdfVIP

·62 · 材料导报A：综述篇 2015年 7月(上)第29卷第7期 多子L硅在传感器 中的应用研究进展 孙兰兰 。，肖 巍 ，刘 煌 一，张艳华。，涂铭旌 ，2，。 (1 重庆理工大学材料科学与工程学院，重庆 401320；2 重庆文理学院重庆市高校微纳米材料工程与 技术重点实验室，重庆 402160；3 四川大学材料科学与工程学院，成都 610065) 摘要 多孔硅 由于其制备方法简单、拥有极大的内表面积、广泛的孔径尺寸、可控的表面改性 以及与传统硅集 成技术兼容等特点，成为传感器件中理想的敏感材料。简述 了多孔硅电化学传感器和光学传感器的研究进展，包括 多孔硅湿度传感器、多孔硅气敏传感器、多孔硅有机蒸气传感器、多孔硅生物传感器。最后指出了阻碍多孔硅基传感 器商业化的影响因素，并展望了多孔硅传感器的发展方向。 关键词 多孔硅 传感器 内表面积 中图分类号：TB383 文献标识码 ：A DOI：10．11896／j．issn．1005—023X 2015．013．011 RecentDevelopmentsofPorousSilicon。basedSensors SUNLanlan ，XIAOWei。，LIU Huang ，ZHANGYanhua，TU Mingjing。’。 (1 CollegeofMaterialsScienceEngineering，ChongqingUniversityofTechnology，Chongqing401320；2 Chongqing UniversityofArtsandSciences，ChongqingKeyLaboratoryofMicro／NanoMaterialsEngineering Technology。 Chongqing402160；3 CollegeofMaterialsScience Engineering，SichuanUniversity，Chengdu610065) Abstract Themotivationofusingporoussilicon (PS)asasensingmaterialrelatestoeaseoffabrication，large internalsurface，widerangeofaccessibleandadjustableporesize，controllablesurfacemodificationandcompatibility withcurrentsilicon-basedtechnologies．BasedonPSmaterials，theresearchprogressofPSelectrochemicalsensors andopticalsensorsareintroduced，includingPShumiditysensors，PSgassensors，PSorganicvaporsensors，PSbio— logicalsensors．Lastly，concludingremarksaboutexistingchallengesthathinderthecommercialuseofthematerial arehighlighted，andpospectivedevelopmentdirectionsofPSsensorsaresuggested． Keywords poroussilicon，sensor，internalsurface 应用于传感器中的多孔硅一般是通过电化学腐蚀法制得，该 0 引言 方法以单晶硅为阳极，铂片为阴极，在氢氟酸和乙醇的混合 多孔硅 (Poroussilicon，PS)是在硅表面通过 电化学腐蚀 液中通人 电流进行氧化，在硅片表面形成多孔硅层I5。]。这 方法形成的，具有以纳米硅晶粒为骨架的海绵状结构的新型