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YS/T XXX-201X 化学气相沉积炉 Chemical vapor deposition furnace （预审稿） 201X－XX－XX 发布 201X－XX－XX实施  前 言 本标准按照GB/T1.1的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAS/TC243)归口。 本标准起草单位：湖南顶立科技有限公司。 本标准主要起草人：  化学气相沉积炉 范围 本标准规定了的要求设备GB/T 10066.1?—2004 电热设备的试验方法?通用部分GB/T 10066.4?—2004 电热设备的试验方法GB/T 10067.1—2005 电热基本技术条件通用部分GB/T 10067.4—2005 电热基本技术条件GB/T10066.4—2004第3章、JB/T 10550 —2006和YS/T 778-2011界定的术语和定义适用于本文件。 要求 4.1 分类 化学气相沉积炉根据结构形式分为卧式化学气相沉积炉和立式化学气相沉积炉两种类型，按炉型及工作区域尺寸分为13种型号，见表1和表2。 需方有特殊要求时，可由供需双方商定。 型号表示规则 4.2.1 卧式化学气相沉积炉 卧式化学气相沉积炉的型号表示由HCVD （其中H表示卧式、CVD表示化学气相沉积)和工作区域尺寸(宽×高×长)组成，见示例1。 示例1： 卧式化学气相沉积炉有效区尺寸为宽1000mm、高1000mm、长1500mm，其型号表示为HCVD-101015。 4.2.2 立式化学气相沉积炉 立式化学气相沉积炉的型号表示由VCVD （其中V表示立式、CVD表示化学气相沉积)和工作区域尺寸(直径×高)组成，见示例2。 示例2： 立式化学气相沉积炉有效区尺寸为直径φ300mm、高500mm，其型号表示为VCVD-0305。 化学气相沉积炉总体结构 化学气相沉积炉主要由炉体、工艺沉积系统、真空系统、冷凝捕集系统、水冷系统、尾气处理系统及电气控制系统等组成。总体设计要求应符合JB/T 10550—2006 第5章的规定。 卧式化学气相沉积炉可按需方需要采用前后双开门或单开门结构，由水平方向装料和出料，其总体结构示意图见图1。 立式化学气相沉积炉可按需方需要采用下开门或上开门或上下双开门结构，由竖直方向装料和出料，其总体结构示意图见图2。 1—炉体主体、2—保温加热系统、3—工艺沉积系统（沉积室部分）、4—冷凝捕集系统、 5—真空系统、6—尾气处理系统、7—水冷系统、8—工艺沉积系统（工艺气路部分）、9—电气控制系统 图1 卧式化学气相沉积炉总体结构示意图 1—工艺沉积系统（工艺气路部分）、2—炉体主体、3—保温加热系统、4—工艺沉积系统（沉积室部分）、 5—水冷系统、6-工作平台、7—冷凝捕集系统、8—尾气处理系统、9—真空系统、10—电气控制系统 图2 立式化学气相沉积炉总体结构示意图 4.4 化学气相沉积炉的基本参数 化学气相沉积炉的基本参数见表1和表2。 表1 卧式化学气相沉积炉的基本参数 型号 工作区域尺寸 宽×高×长/mm 承载重量 kg 额定加热功率 kW 额定炉温 ℃ HCVD-060609 600?00?00 300 210料和 1500 HCVD-080812 800?00?200 800 360 HCVD-101015 1000?000?500 1500 480 HCVD-121225 1200?200?500 2500 600 HCVD-151530 1500?500?000 5000 900 HCVD-202040 2000?000?000 10000 1200 HCVD-252550 2500?500?000 20000 1800 表2 立式化学气相沉积炉的基本参数 型号 工作区域尺寸 直径×高/mm 承载重量 kg 额定加热功率 kW 额定炉温 ℃ VCVD-0305 φ300×500 50 45 1500 VCVD-0508 φ500×800 150 90 VCVD-0812 φ800×1200 500 180 VCVD-1015 φ1000×1500 1000 300 VCVD-12