Mirau干涉型微纳台阶高度测量系统的研究 - 计量学报.PDFVIP

第３８卷　第２期 计　　　 量　　　学　　　报 　 Ｖｏｌ．３８，№２ ２０１７年　３月 ＡＣＴＡ　ＭＥＴＲＯＬＯＧＩＣＡ　ＳＩＮＩＣＡ 　 Ｍａｒｃｈ，２０１７ ｄｏｉ：１０．３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ．１０００１１５８．２０１７．０２．０３ Ｍｉｒａｕ干涉型微纳台阶高度测量系统的研究 １ ２，３ ２ ２ ２ １ ２ 郭　鑫 ，　施玉书 ，　皮　磊 ，　张　树 ，　李　适 ，　李东升 ，　高思田 （１中国计量大学 计量测试工程学院，浙江 杭州３１００１８；２中国计量科学研究院，北京 １０００２９； ３天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津３０００７２） 摘要：为了实现纳米量级到微米量级的微观三维台阶样板高度的快速测量，在普通光学显微镜的基础上改造 完成了一台微纳台阶高度测量装置，设计了整体硬件结构，编写了测量控制软件和数据处理软件，并结合Ｈｉｌｂｅｒｔ变 换和小波变换实现三维表面形貌测量。使用不同高度的台阶样品进行测试，测试结果表明：系统测量准确度较高， 测量重复性较好，垂直测量范围大于５０ ｍ。 μ 关键词：计量学；Ｍｉｒａｕ干涉；微纳台阶高度测量；三维表面形貌测量；白光显微干涉；光学显微镜 中图分类号：ＴＢ９２　　　　文献标识码：Ａ　　　　文章编号：１０００１１５８（２０１７）０２０１４１０４ ＲｅｓｅａｒｃｈｏｎＭｉｃｒｏ／ｎａｎｏＳｔｅｐＨｅｉｇｈｔＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＳｙｓｔｅｍ ｏｆＭｉｒａｕＩｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅ １ ２，３ ２ ２ ２ １ ２ ＧＵＯＸｉｎ，　ＳＨＩＹｕｓｈｕ ，　ＰＩＬｅｉ，　ＺＨＡＮＧＳｈｕ，　ＬＩＳｈｉ，　ＬＩＤｏｎｇｓｈｅｎｇ，　ＧＡＯＳｉｔｉａｎ （１ＣｏｌｌｅｇｅｏｆＭｅｔｒｏｌｏｇｙ＆ＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＥｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ，ＣｈｉｎａＪｉｌｉａｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｈａｎｇｚｈｏｕ，Ｚｈｅｊｉａｎｇ３１００１８，Ｃｈｉｎａ； ２ＮａｔｉｏｎａｌＩｎｓｔｉｔｕｔｅｏｆＭｅｔｒｏｌｏｇｙ，Ｂｅｉｊｉｎｇ１０００２９，Ｃｈｉｎａ；３ＳｔａｔｅＫｅｙＬａｂｏｒａｔｏｒｙｏｆＰｒｅｃｉｓｉｏｎ ＭｅａｓｕｒｅｍｅｎｔＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙａｎｄＩｎｓｔｒｕｍｅｎｔｓ，ＴｉａｎｊｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｔｉａｎｊｉｎ３０００７２，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｉｎｏｒｄｅｒｔｏｒｅａｌｉｚｅｔｈｅｒａｐｉｄｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｏｆｔｈｅｎａｎｏｍｅｔｅｒｓｃａｌｅｔｏｔｈｅｍｉｃｒｏ３Ｄｓｔｅｐｓａｍｐｌｅｈｅｉｇｈｔ，ｏｎｔｈｅ ｂａｓｉｓｏｆｏｒｄｉｎａｒｙｏｐｔｉｃａｌｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ，ａｍｉｃｒｏ／ｎａｎｏｓｔｅｐｈｅｉｇｈｔｍｅａｓｕｒｉｎｇｄｅｖｉｃｅｉｓｒｅｃｏｎｓｔｒｕｃｔｅｄＴｈｅｗｈｏｌｅｈａｒｄｗａｒｅ ｓｔｒｕｃｔｕｒｅｉｓｄｅｓｉｇｎｅｄＴｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔａｎｄｃｏｎｔｒｏｌｓｏｆｔｗａｒｅａｎｄｄａｔａｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇｓｏｆｔｗａｒｅａｒｅｐｒｏｇｒａｍｍｅｄＣｏｍｂｉｎｅｄｗｉｔｈ Ｈｉｌｂｅｒｔｔｒａｎｓｆｏｒｍａｎｄｗａｖｅｌｅｔｔｒａｎｓｆｏｒｍ，ａｎｅｗｍｅｔｈｏｄｏｆａｌｇｏｒｉｔｈｍｗｈｉｃｈｉｓｕｓｅｄｆｏｒｔｈｅｒｅｃｏｎｓｔｒｕｃｔｉｏｎｏｆ３Ｄｓｕｒｆａｃｅ ｔｏｐｏｇｒａｐｈｙｉｓｐｒｏｐｏｓｅｄＴｈｅｓｔｅｐｓａｍｐｌｅｓｏｆｄｉｆｆｅｒｅｎｔｈｅｉｇｈｔｉｓｕｓｅｄｔｏｔｅｓｔＴｈｅｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔｒｅｓｕｌｔｓｉｎｄｉｃａｔｅｔｈａｔｔｈｉｓ ｓｙｓｔｅｍｈａｓｈｉｇｈｍｅａｓｕｒｅｍｅｎｔａｃｃｕ