光学零件表面疵病检测仪技术方案探讨.pdfVIP

维普资讯 1989年第12卷第 2期 长春光学精 密机械 学院学报 1989 J．CHANGCHUN INST ．OPT ．＆ FINE MECH ． 光学零件表面疵病检测仪技术方案探讨 宋 玉 昆 (应用光学研究所) 摘要 本文叙述了光学零件表 面疵病捡 测仪的技术方案。它是光、机、电、算 一 体化的精 密 自动刹量仪器。在设 计方案中采用 j激光散射 ，旋转扫描 ，纵横微 调、 自动光 电补偿、快速数据处理等方法，并对 某些关键部件设计进行 j较详 尽 的阐述 。 关键词 激光散射，旋转扫描， 自动光电补偿 1 引 言 随着科学技术的进步，在众多的应用领域中，对光学零件表面质量要求越来越高。 例如高性能的成像系统和环形激光陀螺都要求光学表面在廉予尺度上是光滑的、无缺欠 的。大功率激光系统某些光学零件，只能用单点金刚石加工才能满足要求。因此，不仅 要有高精度的加工装备，而且还要有先进的检测方法和检测仪器才能N-E出高质量的光 学零件。利用一般光学手段，对光学零件实现表面疵病 自动检测是困难的。其原因是， 由于光学零件的形状、尺寸，材料及其 内部的均匀性等因素对表 面疵病的测量都有直接 影响。尤其是疵病的明视度差别极小 (--f能明显改变成像系统的特性1，且形状复杂， 给检测带来一定困难。 在科学技术飞速发展的今天，可 利用光 电子技术，计算机技术实现快速、高精度 自动检测光学零件表面疵病，检测出疵病大小，形状，数量及其分布。 本文具体叙述仪器的技术方案。按部颁标准，对光学零件表面检测定级，并打印出 疵病分布 图像。 2 仪器工作原理 仪器原理如 图 1所示。根据光 的散射理论，在均匀介质中，光只能沿着折射光线的 方 向散射。因组成物质的原子或分子 内带电粒子谴准弹性力保持着，在平衡位置附近按 收稿 日期 】988一 OT一 0 维普资讯 第 2期 光学零件表 面疵耦检驯仪挂术方案探 讨 61 固有频率振动。在入射光的作用下，带电粒 _r二=二====回 子发生极陀，并以入射光的频率做强迫振动 动，形成振动偶极子而发 出次波，在均匀介 质中，这些次波迭加的结果，使光只能在折 射方 向继续传播下去。其他方 向因次波相干 而抵消，没有光 出现。但是在非均 匀 介 质 中，因不均匀介质破坏 了次波的相干性而 出 匝 H 圈 现散射光。利用这～理论，在光学零件中因 密度大小，各向异性，表面疵病等都会引起 困置I#☆HL 不均匀而产生散射光。 目 l( 本仪器采用He—Ne激光器，光束经 会 圈 聚后射到被测表面，在扫描过程 中，当遇到 表面疵病则产生强的散射光。用光电器件接收这些散射光，经信号处理，在计算机统一 管理下，计算出各国扫描速度，并测定出散射光引起的电脉冲宽度，即扫过疵点所需时 间，就可计算出该疵病点在扫描方 向上的尺寸。例如， 为第m固的线速度， 为第m 圈上的散射光电信号宽度，并考虑到信号电平的切割基准是调定的，则在m凰上出现疵病 宽度S =KT V 。式中 由实验决定，111值 由待检镜片直径及转动工作台上狭缝产生 的同步信号决定 3 光学系统设计 ． 1 技 术指标