626型压力薄膜规.pdfVIP

MKS 626/622 系列常温型压力薄膜规 MKS 626 系列压力薄膜规，一个高性能的，金属薄膜的压力传感器， ±15VDC 的输入和 0-10VDC 的模拟线性输出信号，它可 以和 MKS 压力显示器连接，也可以和其他满足要求的控 制仪器相连接。真空或压力的变化造成了传感器内部的金 属薄膜的位置变化，金属薄膜的变化通过一个信号处理输 出电路转换成一个可用的输出信号，提供非常快速的响应 速度（小于 20 毫秒），非常低的滞后效应，杰出的可靠性 和很高的分辨率（全量程的 0.001%），优良的抗腐蚀能力， 双面焊接的结构保证了操作的安全性。传感器本身可以承 受重复的高压至 45Psia （3.1Bar ）而不会有任何的漂移和变形。 MKS626 系列薄膜规是在常温下工作的，它的全量程范围从 0.1Torr 到 1000Torr，适合于工业制造，电子，研发等工业领域。 产品特点： ●