机械制造ⅱ电子教案.ppt

1.移除技術（Top down） 奈米結構 微影技術 蝕刻 離子植入 薄膜沉積 矽晶棒 切成薄片 回目次 三、奈米製造 13-2　微細製造簡介 課本P.287 2.累加技術（Bottom up） (1)科學家發明了掃描探針顯微鏡 ( Scanning tunneling microscope，STM )。 (1)利用STM去控制電場蒸發與沉積方式，即可進行　 單一原子的操縱。 回目次 三、奈米製造 13-2　微細製造簡介 課本P.287~288 (3)IBM實驗室以STM的探針，在銅金屬表面移動鐵原子，排列出目前最小的中文字「原子」，如圖13－22所示。 回目次 三、奈米製造 13-2　微細製造簡介 課本P.288 2.累加技術（Bottom up） (4)1986年開發的原子力顯微鏡（Atomic force 　　microscope，AFM）則可以進行奈米切削、 　充當奈米墨筆沾黏分子，進行圖案及文字的書寫。 (5)可以移動奈米粒子，進行微小物件的奈米製造。 回目次 三、奈米製造 13-2　微細製造簡介 課本P.289 2.累加技術（Bottom up） 回目次 三、奈米製造 13-2　微細製造簡介 課本P.289 2.累加技術（Bottom up） (1)蓮花效應 蓮葉表面生有奈米結構，因而具有抗水防塵的自潔功能，稱為「蓮花效應」。 (2)奈米黃金 黃金製成