电源报警信息原因分析及现场处理方法.pptVIP

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2017-07-05 发布于四川
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板式PECVD微波电源报警信息原因分析及现场处理方法谢善文 2011.03.10 微波源主供电错误微波源低压错误微波电源最大电压错误微波电源信息错误微波电源ARC错误微波电源冷却错误微波电源反射功率过高 Thank you * 复位CAN总线模块状态 CAN总线模块错误（图3）更换微波头微波头电源线断路（图2） IJBT模块损坏微波源X4电源输出线断路(图1）微波源变压器损坏微波源电路板电子元器件损坏更换微波源微波源整流桥损坏现场处理方法原因分析检查接线微波电源X4高压输出至微波头高压（磁控管接线端）输入故障检查主电源电路微波电源主电源断路或缺相（见图）更换微波源微波源内24V开关电源损坏现场处理方法原因分析更换微波头(图2）微波头内磁控管损坏现场处理方法原因分析复位CAN总线模块状态或更换CAN总线模块 CAN总线模块错误现场处理方法原因分析微波头电源线断路与外屏蔽线短路检查X4电源输出线与微波头电源线处，重新接线微波源X4电源输出线与外屏蔽线短路现场处理方法原因分析重新接线微波电源或微波头冷接线错误更换冷却风扇微波电源或微波头冷却风扇损坏检查工艺冷却水状态（14，15，16，17）冷却水流量或温度低于报警极限现场处理方法原因分析更换微波铜管微波铜管弯曲重新安装微波铜管从四氟盘中间脱落检查微波天线位置微波天线与微波铜管接触不好现场处理方法原因分析 *