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改进型共同光路外差干涉对粗糙度的测量 李祥 王佳 赵洋 李达成 曹芒 摘要 一种用于测量轮廓和粗糙度的光外差系统已经研究成熟。我们采用了多种先进的技术。整个光学系统采用共同光路，可以排除样本震动和热漂移的影响。利用一种先进镜片分别形成参考光束和信号光束。运用位相对比技术对检测信号进行处理来提高测量精度。开发出来的本光学系统将会成为塞曼效应激光干涉仪的重要部件。 关键词 粗糙度测量，共同光路，外差干涉仪 简介 当前已经研究出来多种光外差轮廓仪。并且为了去除震动引起的光学相位的震动，已经开发出了光学准直共同光路系统[1,2]。在这个系统中，使参考光束和信号光束同轴投射到测量样本，并且震动对这两束光的影响是同样的，因而可以消除震动的影响。但是在参考臂和测量臂之间由于热漂移和机械不稳定的影响是无法克服的，所以我们需要利用参考光束和信号光束共光路来克服这些影响。 塞曼激光干涉仪在位移、平整度等测量方面有广泛的应用，光外差轮廓仪将会作为塞曼激光干涉中实用的、经济的、精密的部件被研究，并使其具有描述表面特征的能力。 光学共光路系统 本光学系统的光路图见图1。He-Ne激光器作为光学系统的光源，并且它可以提供稳定的线偏振光。电光调制器和偏振片将会把光束分成为和两束不同频率的线偏振光。这两束光经过分光镜PBS1后被分开，频率为的测量光聚焦于样本。参考光通过物镜后也直接同轴的照射于样本，经