冷阴极型电子源.PDF

平成 ２７年度 特許出願技術動向調査報告書 （概要） 冷陰極型電子源 平成 ２８年 ３月 特 許 庁 問い合わせ先 特許庁総務部企画調査課 知財動向班 電話：０３－３５８１－１１０１（内線２１５５） 目 次 第1 章 調査概要 第1 節 調査目的 電子を原子から外部に放出させる電子源として、冷陰極型電子源と熱陰極型電子源がある。 要 熱陰極型放出源は電子を放出する陰極（エミッタ）を加熱することで電子に陰極から飛び出 約 すエネルギーを与えるものであり、冷陰極型電子源は陰極と陽極間に高電圧を印加すること で電子に陰極から飛び出すエネルギーを与えるものである。冷陰極型電子源は熱陰極型の電 子源に比べて、消費電力が小さいこと、小型化できること、応答速度が速いこと、放出され る電子の密度が高いことなどの点により、技術的な優位性を有する。 本 従来から、電子顕微鏡、電子線露光装置、平面型表示装置あるいはX 線装置などに電子源 編 が使用されている。また、カーボンナノチューブが低電圧でも電子を放出する冷陰極型電子 源となることも実証され、カーボンナノチューブの新たな用途としても注目されている。 特許出願の件数に関しては、2004 年にピークがあり、2015 年時点では大幅に減少してい るものの、熱陰極型電子源に比較して冷陰極型電子源の優位性を活かした新たな製品の開発 第 １ が電子顕微鏡などにおいて行われている。 部 今後開発されるであろう冷陰極型電子源に関する技術開発、知的財産戦略の方向性を探る 上で、出願や論文の内容の変化を検証し、冷陰極型電子源に関して、どのような技術が我国 において蓄積されたかを知ることは重要である。 第 本報告書では、冷陰極型電子源に関する技術について、市場環境、政策動向、特許及び論 ２ 文の動向を調査し、技術革新の状況と今後の展望について検討、報告する。 部