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    第卷第期无机材料学报年月文章编号在薄膜表面反应特性研究罗丽珠陆雷刘柯钊赵东海表面物理与化学重点实验室绵阳中国工程物理研究院绵阳摘要采用磁控溅射沉积方法在基底表面制备薄膜采用光电子能谱分析技术观测气氛环境下薄膜表面腐蚀行为以期获得薄膜在环境下的表面腐蚀机理结果表明超高真空条件下在薄膜表面表现为氧化特性在薄膜表面吸附解离生成的以无定形碳形式聚集在薄膜表面深度剖析过程中并未观察到向薄膜内部扩散而解离生成的氧在薄膜内扩散并发生氧化反应生成高价氧化物或铀氮氧化物和氮氧化反应生成的氮向薄膜内部扩散并在次表面

    第29 卷 第8 期 无 机 材 料 学 报 Vol. 29 No. 8 2014 年8 月 Journal of Inorganic Materials Aug., 2014 文章编号: 1000-324X(2014)08-0875

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