干涉显微镜在超精密测量中的应用①.PDF

倚　 ( ) 　 第 17 卷 第 4 期 佳 木 斯 大 学 学 报 自 然 科 学 版 Vol. 17 No. 4 1999 年 12 月 Journa l of J iam usi Un iversity (Na tura l Sc ience Ed ition ) D ec. 1999 干涉显微镜在超精密测量中的应用① 王晓霞 郭小芸 (佳木斯大学工学院, 佳木斯, 154007) 摘　要　介绍了干涉显微镜测量原理、仪器结构、空间分辨率和测量范围, 分析了测量误差产生的 原因, 通过实验表明: 干涉显微镜能够比较真实地反映超光滑表面微观形貌特征, 是超光滑表面微观形 貌测量的有效工具. 关键词　干涉显微镜; 表面微观形貌; 测量 中图分类号　 741. 3 TH 0　引　言 机械零件的表面形貌不仅直接影响着零件的使用性能, 而且还影响着产品的质量、可靠性及寿命. 随着现代技术水平的飞速发展, 很多高精尖产品对表面加工质量要求越来越高, 超精密加工技术已经成 为现代科技的前沿. 而超精密检测技术是与超精密加工技术并行发展的一门高科技术, 精确可靠地测量 超精表面的微观形貌现已成为超精密加工领域中一个亟待解决的关键问题. 自从1960 年激光器问世以 来, 由于激光的单色性好、空间相干性好、方向性好和光强大等特点, 很快成为精密测量的理想光源. 自 从 80 年代以后, 已经出现了多种不同测量原理的光学测量方法, 如光切法、各种不同测量原理的光学探 针和干涉显微镜等. 光学探针是把聚焦光束当作探针, 利用不同的光学原理来检测被测表面形貌相对于 聚焦光学系统的微小间距变化. 干涉显微镜是利用光波干涉原理来检测表面质量的仪器, 具有表面信息 直观和测量精度高等优点. 特别是近年来相移干涉技术在干涉显微镜中的应用, 使其测量精度和速度都 有了大幅度的提高, 其分辨率已超过 1 , 重复测量精度达 0. 1 . 1　干涉显微镜的测量原理 显微干涉法是利用光波的干涉现象, 以光波波长度量由于零件表面微观不平度而产生的光波干涉 带弯曲程度的一种方法. 干涉显微镜又可以细分为: 分光路干涉显微镜和共光路干涉显微镜. 分光路干 图 1　分光路干涉显微镜 收稿日期: 1999—09—01 第一作者简介: 王晓霞, 女, 1965 年 8 月出生, 1989 年毕业于佳木斯工学院, 工学学士, 现任佳木斯大学工学院讲师. © 1995-2004 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd. All rights reserved. 第 4 期　　　　　　　　王晓霞等: 干涉显微镜在超精密测量中的应用 421 涉显微镜主要有 、 和 3 种类型, 其光路原理如图 1 所示. 共光路干涉显微镜以 M ichelson M irau L in ik N om arsk i 为代表, 其光路原理如图 2 所示. 各种显微镜的分辨率和测量范围如表 1 所示. M irau 干涉显微镜的光学原理为从光源发出的光束经过显微物镜后透过参考板, 被分光板上的半 透半反膜分成两路. 一路透过分光板后由被测面发射, 经分光板和参考板后回到显微镜视场中. 另一路 被分光板反射到镀在参考板表面上的小镜面上, 从小镜面上反射回来的光束再次被分光板反射, 然后穿 过参考板到达显微镜视场, 与第一路光束会合而发生干涉. M irau 干涉显微镜的特点是只使用了一个显 微物镜, 由于物镜对参考光束和测量光束的影响相同, 因而测量时不会引入附加的光程误差. 另外, 参考 光路和测量光路的工作条件接近, 可以排除很多干扰因素.