自制混合型干涉仪结合快速傅立叶转换法检测玻璃基板 - 专题周记系统.pdfVIP

自製混合型干涉儀結合快速傅立葉轉換法檢測玻璃基板表面輪廓 1,a 1,2,b* 1,c 2,d 黃丞毅 ,田春林 ,許育瑛 , 林泓逸 *1逢甲大學電機工程學系 2 逢甲大學電機工程學系研究所 ah.tw,b cltien@.tw, cieeefcu@, dbq100035@.tw 摘要 測過程中，必須以探針接觸待測樣品 ，樣品有損 高精密的鍍膜產業，三維表面輪廓的檢測 毀的可能性，對於有高度精密需求如晶圓製程， 攸關產品的品質與效能。因此，如何量測並精準 或是薄膜元件並不適用，此外，若採用全域檢測 的建構出玻璃基板 三維表面形貌，扮演著舉足輕 時，必須逐行的掃瞄，因此需耗費較多的時間； 重的地位。為了測量玻璃基板的三維