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低温环境下超导体微位移测量的研究 齐 峰 雷沉忠 王秋良 余运佳 中国科学院电工研究所，北京，100080 摘要:在超导精密仪器的研制工作中有时需要测量 与待测物体之间的距离发生变化时，接收光纤所收 杜瓦容器内超导体的微小位置变化。由于超导体需 集到的光强便发生变化。 运行在极低温环境，运用常规方法难以对超导体的 光 源 光探测器 . 微小位移进行测量。作者选用光纤位移传感器进行 I 非接触测量，研究了光纤位移传感器在室温和液氮 一 忆 温度下的静态传输特性。本项研究为超导体位移、 入射光纤 ︸ 接收光纤 振动的测量提供了一种新的方法。 \ ︸ 关键词:超导;低温;微位移;光纤:非接触测量 待测距离 1.引言 随着超导材料的发展，超导技术的应用范围越 来越)‘，其中一项重要的应用便是超导磁悬浮技 术。基于超导体特有的迈斯那效应，超导磁悬浮技 术在一些精密仪器的研制过程中起着不可替代的 作用of。但是，由于超导体的运行环境温度极低， 图1光纤探头示愈图 运用常规方法测量悬浮间隙的变化存在困难.特别 采用的反射式光纤位移传感器的原理如图1 是在一些结构精细、复杂的部件中，包括电容法、 所示.光纤探头由两根光纤组成，一根用于发射光， 电感法等间隙测量方法都不便实施，因此有必要研 一根用于接收从被测物体即超导体反射的光。由光 究新的测量方法. 源发出的光通过入射光纤照射到被测物体表面，其 通过对当前测量技术的比较，作者选择了反射 中一部分反射光由接收光纤传回到光探测器上，通 式光纤法来测量处于悬浮状态时超导体微小位置 过检测反射光的强度变化，就能测出光纤探头与被 的变化。反射式光纤法，即运用反射式光纤位移传 测物体表面的间距。光探测器所接收到的反射光强 感器来测量超导体的微小位移。光纤位移传感器， 可表示为: 由于具有体积小、抗电磁干扰、可实现非接触测量 及高灵敏度等一系列优点.特别适合于超导磁悬浮 I(x)=IoKoKL娜,x) (1) 间隙的测量.本文实测了光纤位移传感器在室温和 式中to为光源射入入射光纤的光强，Ko,K 液氮温度下的静态传输特性，并对影响测量精度的 分别为入射光纤和反射接收光纤的本征损耗系数， 因素进行了分析. L为待测物体的反射系数，P为两光纤中心线的间 2.反射式光纤位移传感器的基本原理 距，x为光纤头与待测物体之间的距离，f(p,x)为光