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光学外差干涉法检测微弱超声振动 - 光学精密工程
第 卷 第 期 光学 精密工程
１６ ７
Ｖｏｌ．１６ Ｎｏ．７
Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ
年 月 ｐ ｇ ｇ
２００８ ７ Ｊｕｌ．２００８
文章编号 （ ）
１００４９２４Ｘ２００８０７１１５８０５
光学外差干涉法检测微弱超声振动
李醒飞，王 驰，向红标，张国雄
（天津大学 精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津 ３０００７２）
摘要：为检测微弱超声振动信号，设计了一个具有较高检测灵敏度的光学外差干涉系统。采用相干性高的线偏振光作为
光源，提高了有效干涉强度；利用光阑消除光学噪声，并有效控制回授光对光路的影响；最后，以 级光作为参照光，使光
１
路调节简单易行。实验结果显示，用主频为 ６２．４２ｋＨｚ、幅值为 ７４Ｖ的方波信号激励超声探头作为振动信号源时，测得
的振动信号频率和幅值分别为 和 ，表明该系统能满足微弱超声振动检测要求。
６２．３８ｋＨｚ ７６．４ｍＶ
关 键 词：激光超声；线偏振光；外差干涉；相敏检测
中图分类号： ； 文献标识码：
ＴＢ５７ＴＨ７４４．３ Ａ
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