多坐标激光干涉仪用于纳米定位系统中的研究.PDFVIP

第 31卷第5期 t 职 Vo1．31 No．5 2002年 5月 ACTA PHoTONICA SINICA May 2002 多坐标激光干涉仪用于纳米定位系统中的研究 刘红忠 赵万华 李涤尘 卢秉恒 (西安交通大学先进制造研究所，西安 710049) 摘 要 提出了应用激光干涉量度(LM)系列多坐标激光干涉仪在蚋米定位系统中进行同步 定位检测，具有兄寸小、重量轻、光源与测量头分离的特点，完全消除了由于光源的震动、发热 等因素时纳米定位系统的影响；它的测量分辨率高、测量范围大厦奉身带有智能分析环节．在 IC(Integrated circuit)制造装备厦微机械、生物芯片制遣装备等方面的应用中，满足太空问范 围和超高精度定位的要采，并且可以通过分布式CPU控制方式卖现多坐标高速、同步实时定 住 ． 关键词 多坐标；激光干涉