微悬臂梁传感器以及读出电路的单片集成.PDFVIP

第21卷 第4期 传 感 技 术 学 报 VO1．21 No．4 2008年 4月 CHINESE JOURNAL OF SENSORSAND ACTUATORS Apr．2008 M onolithicIntegrationofM icro-CantileverandReadoutCircuits TANG Ya—qua?l，ZHANGHal一tao。MA Sheng—lin。y Xiao—raei (PekingUniversity，Beijing100871，China) Abstract：Thispaperpresentsanovelwayofmonolithicallyintegratedmicro-cantileverwithread—outcir— cultsbyusingbothSOICMOSandtheSOImicromachiningtechnologies．Basedonathorough investiga— tionandananalysisoftheworldwideresearchachievementsonmicro-cantileversmonolithicintegration，an integratedsensorsystem composedofacantileverarray，adigitalcontrolledmultiplexer，andan instru— mentationamplifieraredesignedandprocessed，andintermediate-CMOSprocesswasdesignedtofabricate theintegratedsystem．ThemeasurementresultsontheSOICMOScircuitryoftheintegratedsystem prove thefeasibilityoftheintegrationdesign． Keywords：monolithicintegration；MEM S；SOI；instrumentamplifier EEACC：7230；7300 微悬臂梁传感器 以及读出电路的单片集成* 汤雅权 ，张海涛，马盛林 ，于晓梅 (北京大学微电子学研究院，北京 100871) 摘 要 ：提出了一种基于SOI技术的微悬臂梁传感器集成化方案，并从传感器信号调理电路的设计和集成化工艺设计方面 论证了该方案的可行性。微悬臂梁传感器集成化系统主要包括惠斯通电桥阵列以及微悬臂梁传感器 的信号调理电路。信号 调理电路部分包括温补电流源、时分多路选择器和两级仪用放大器。测量的结果证实了我们单片集成的可行性。 关键词 ：单片集成；MEMS；SOI；仪用放大器 中图分类号：TP212．1 文献标识码 ：A 文章编号：1004—1699(2008)04—0667—05 现阶段 MEMS主要是作为传感器和微执行器 而言，也扩展了^征 的功能，能够 M 智能化， 应用 。以前集成化的做法是信息的采集、信息的处 不再单纯作为一个传感器或者执行器。我们按照制 理和信息的执行这三个单元分别制作，然后在它们 造CMOS与微结构制作的顺序来划分集成化的方 之间建立信息通道 ，组成一个完整的系统。而现在 案：Pre I／()S，PostCMOS和 IntermidiateCMOS。 的一个努力的方向是使信息的采集、处理和执行能 本文采用 Intermidiate—CMOS集成化方法， 够尽量在同一片芯片上实现，能够用相 同或相近的 利用 SOICMOS的有源区的加工形成力敏 电阻区、 工艺同一次完成，在一个芯片上实现一个完整的系 SOIPMOS的源漏注入工序完成力敏 电阻的图形 统，这就是所谓的单片集成。 定义并调整其阻值、SOICMOS的