微电子 - 梅特勒-托利多.PDFVIP

微电子 3 纯水分析展望 快讯 THORNTON Leading Pure Water Analytics 通过超纯水回收利用 实现可持续性与正投资回报率 鉴于超纯水生产成本与环境因素，简单地将废水直接排放掉是不可思议 的。采取回收/ 再循环/二次利用策略可使回收率高达85 %。过程分析测量 是经济有效地最大限度实现水回收的关键。 超纯水回收利用迫在眉睫 生产线管理人员逐渐意识到回收/ 现代微电子产业的产线正常运行， 循环/再利用以及减少废水排放的 需要连续不断的超纯水供应，对 价值，尤其是对于一整套的超纯 于制造生产而言超纯水的需求量 水系统而言。例如：半导体生产商 达到500 立方米/小时甚至更多。仅 买购买1 美元水，需要花费至少20 就晶元加工而言，每条生产线的超 美元使其达到超纯水标准，另外还 纯水日消耗量就高达4000 到12000 需花费10 美元进行排放处理。 立方米 伴随着微电子行业的产业 拓展以及更先进的技术应用，这些 超纯水连续监测至关重要 对有限的水资源，排放处理系统以 对生产线进行高效率管理，唯一经 及当地水利基础设施到带来了更 济有效的长期解决方案是实施有 大的负担。 效的回收利用策略，对清洗废水进 行连续监测、控制同时进行 合理 随着世界微电子技术的进步以及 分类、收集。 全球范围内生产线产能的扩张，超 纯水制备在投资支出和排放成本 生产半导体晶圆需要使用污染物 方面也同步不断上涨。面对这些技 含量极低的超纯水，需要使用特 术挑战的解决方案是：通过再生对 殊的温度补偿算法进行准确测 超纯水进行循环和回收利用，从而 量，从而实现高度准确性。半导体 用于装置内相同或者其他不同的 生产过程需要使用大量超纯水和 工艺单元中 5000TOCe 总有机碳传感器 技术难题之一。事实上，SIA 指出 电子行业的可持续性 用水问题是在某些地理区域中选 j 社区关系回收/再循环/重新 择晶圆厂厂址与规模时受限的重 利用表明认识到水资源对于 要因素。 当地社区的重要性 一定数量化学试剂，导致大量的 目前，许多生产厂的水回收率仅为 再生利用的主要策略是使水质符 废水产生。 10 – 20 % ，而其他一些生产厂的回 合晶圆厂对于水的要求，从而减少 收率超过 40 % 。然而，大多数领先 总用水量。节约用水可在至少三个 耗水量大的加工工艺段包括：化学 的全球公司已经实施了将回收/再 不同方面得以体现： 机械抛光、光刻、蚀刻、脱膜、圆晶 循环/重新利用率提高至80 % 以上 j 提高超纯水系统的效率 清洗和背部研磨等，这些工艺段将 的战略。在美国西南地区、中国台 j 系统地实施循环和回收策略 产生大量水质千差万别的工艺排 湾、新加坡和以色列这样水资源 j 环境设计（设计源自生产过 放废水。由于pH 值、溶氧、电导率/ 紧缺的地区，微电子制造的长期 程的废水） 电阻率、T OC 、溶解与悬浮固体和 可行性受到严重质疑。事实上，目 金属污染物之间差异巨大，因此给 前一家晶圆生产厂或代工厂通常 梅特勒-托利多熟知超纯水生产所 废水处理厂提出了巨大挑战。