用表面等离子体共振传感器检测纳米间距.pdfVIP

第 6卷 第 2期 中国光学 Vo1．6 No．2 2013年4月 ChineseOptics Apr．2013 文章编号 1674—2915(2013)02-0259-08 用表面等离子体共振传感器检测纳米间距 王二伟 ，鱼卫星 ，王 成 ，卢振武 (1．中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，吉林长春130033； 2．中国科学院大学，北京100049) 摘要 ：结合物理光学原理和表面等离子体共振 (SPR)角度传感器，提出了可以突破衍射极限的纳米间距检测方法。在理 论上建立起纳米间距和位相改变量之间的函数关系，借助于 SPR角度传感器的高灵敏性，提出通过检测出射光束振动 方向的P分量和 s分量的位相差值来实现纳米间距的实时检测。模拟结果显示：纳米间距改变量从 一0．5—0．5Ixm变化 时，位相改变量可实现一150。～150。的变化，检测灵敏度 1nm。该检测方法能够实现 10ifin以下间距的灵敏检测，且 具有结构简单 ，易于操作，实时检测的特点。 关 键 词：表面等离子体共振 (SPR)传感器；角度传感器；纳米间距；共振角度 ；位相差 中图分类号：0436．1：TB92 文献标识码：A doi：10．3788／C00259 Nanogap measurementbyusingsurfaceplasmon resonancesensor WANG Er．wei，，YU Wei—xing ，WANG Cheng ，LU Zhen．WU (1．ChangchunInstituteD厂Optics，FineMechanicsandP ， ChineseAcademyofSciences，Changchun130033，China； 2．UniversityofChineseAcademyofSciences，Beijing100049，China) Correspondingauthor，E—mail：yuwxl7@hotmail．corn Abstract：Anopticalmethodforthenanogapmeasurementbeyondtheopticaldiffractionlimitwasreposed． Thefunctionrelationship between thenanogapwidth and thephasedifferencewasbuilt．Basedonthehigh sensitivityofasurfaceplasmonresonance(SPR)sensor，thenanogapwidthbetweenalighttransmittingmirror andareflectorcouldbemeasuredby detectingthephasedifferencebetween P--andS-·polarizationsofthe light．Numericalsimulation showsthatthephase difference shiftsfrom 150。to 一 150。by changing the nanogapwidthfrom 一0．5to0．5Ixm andthemeasuredsensitivityofnanogapwidthisbetterthan1nm．This nanogapmeasurementmethodcanrealizethemeasurementforthesmallestgapbelow 10am andprovidesa simpleandreal—timeoperationbeyondthephysicaldiffractionlimit． Keywords：SurfacePlasmonResonance(SPR)sensor；anglesensor；nanogapwidth；resonanceangle；phase