硅纳米孔结构在多晶硅太阳能电池中的应用.pdf

第 17卷 第 4期 上 海 电 机 学 院 学 报 V01．17NO．4 2014焦 JOURNALOFSHANGHAIDIANJIUNIVERSITY 2O14 文章编号 2095—0020(2014)04—0240—04 硅纳米孔结构在多晶硅太阳能电池中的应用 林星星 ， 吴 纲 ， 杨 武 (上海 电机学院 数理教学部，上海 201306) 摘 要 ：利用金属辅助化学刻蚀及碱修饰方法在多晶硅上制备 了硅纳米孔结构 ，比较 了硅纳米 孔结构和酸制绒常规多晶硅硅 片在反射 、内量子效率、磷浓度分布以及电池性能等方面的情况。研 究表 明，硅 纳米孔结构 多晶硅 太 阳能 电池开压 为 o．6261V，短路 电流为 8．683A，填充 因子 为 79．O6％，效率为 17．66 ，比酸制绒常规电池片高出0．23 。 关键词 ：硅纳米孔结构；多晶硅 ；太阳能电池；磷浓度分布 中图分类号 ：TB383：TM 914．41 文献标志码 ：A ApplicationofSiliconNanoporestoMulticrysta…neSiliconSolarCells LIN Xingxing。 WU Gang， YANG W u (DepartmentofMathematicsandPhysicsEducation，ShanghaiDianjiUniversity， Shanghai201306，China) Abstract：Siliconnanoporesarefabricatedbymetalassistedchemicaletchingandsubsequent alkalimodification．By investigating the influenceofsilicon nanoporeson reflectance，internal quantum efficiency，phosphorousdoping concentration distribution，and cellperformance，we haveachievedanimprovedoutputperformanceofnanosturcturedmuIticrystallinewithanopencir— cultvoltageof0．6261V，shortcircuitcurrentof8．683A，fillfactorof79．0696／andconversion efficiencyof17．66 underAM 1．5G illum ination，which isabout0．23 higherthan theacid texturedcounterparts． Keywords：siliconnanopore；multicrystalline；siliconsolarcell；phosphorousdopingconcen— trationdistribution 最近 10年 的研究表明硅纳米结构具有 良好 纳米结构可有效抑制反射 ，这对太 阳能 电池来说 的光学性能，被 看作是下一 代高效 电池 的载 尤为重要 。如此优越的反射性能主要归因于 体 引。由于其可以在宽光谱内实现零反射 ，故也 硅纳米结构 的亚波长尺寸 ，可形成折射率梯度变 被称为 “黑硅m．913-4]。当入射光在大角度变化时，硅 化 区域 ，从而避免 了菲涅尔反射 。很多研 究者 收稿 日期 ：2014—07—25 基金项 目：上海市高校选拔优秀青年教师科研专项基金项 目资助(shdj005) 作者简介：林星星(1984一)，女，讲师，博士生，专业方向为太阳能电池，E—mail：hanxuanmiyi@163．corn 242 上 海 电 机 学 院 学 报