磁控溅射法制备pet基纳米tio2抗菌薄膜的研究 - 青岛大学学报（自然 .pdfVIP

维普资讯 第 l6卷第 1期 青 岛 大 学 学 报 VoI．16No．1 2003年 3月 JOURNALOFQINGDAOUNIVERSITY Mat． 20o3 文章编号 ：1006-1037(2003)01-0016-04 磁控溅射法制备PET基纳米 TiO2抗菌薄膜的研究 裴喜华 ，齐宏进 (青岛大学化工学院，青岛266071) 摘要 ：利用磁控反应溅射法在 PET基底上制备了纳米 TiO2抗菌薄膜。利用扫描电子显微镜 (SEM)对制得的溅射膜的微观形貌进行了表征 ，发现采用磁控溅射法在很短的时间内即可 在基底上得到一层致密均匀的由纳米粒子组成 的薄膜。采用光 一氧抗菌实验方法，研究了 溅射薄膜的抗菌性能。实验结果表明溅射后的薄膜 比未溅射样品具有明显的抗菌性能。 关键词：磁控反应溅射；TiO，薄膜 ；抗菌性能；PET；