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第28卷 第8期
V01．28 No．8
文章编号：1007—1180(2011)08—0017—05
镜片中心偏差测量方法发展现状
方 超 ．于长淞
(中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学 国家重点实验室，吉林 长春 130033)
摘 要：研究了国内外镜片中心偏差主要测量方法，按其特点进行了分类，并介绍了每种方法的基本原理 ，
分析了其测量特点和应用条件 。
关键词：中心偏差；自准直；干涉测量
中图分类号：TB92 文献标识码：A
DOI：10．3788／0ME0017
DevelopmentofCenteringErrorsMeasurement
FANG Chao．YU Chang—song
(StateKeyLaboratoryofAppliedOptics，ChangchunInstituteofOptcis，FineMechanicsand脚 cs，
ChineseAcademyofSciences，Chnagehun130033，China)
Abstract：Themaincenteringerrorsmeasurementwasdiscussedinthispaper．Themethodswereclassifiedaccording
totheircharacteristics．Thebasicprincipleofeachmethodwasdescribed，andthemeasurementfeaturesandapplica-
tionconditionswereanalysed．
Keywords：centeringerrors；autocollimator；interferometer
不对称性 ，从而使成像质量降低。近年来，随着半
1 引 言
导体产业的发展．投影光刻技术对投影曝光物镜成
镜片的中心偏差是指镜片的光轴与参考轴间的 像质量的要求也越来越高。为了获得高成像质量的
偏差 ．它的存在破坏了光学设计的重要基础——共 投影曝光物镜，对这种 由多镜片构成的成像系统的
轴理论，引起系统的慧差ll-21、成像的像散性和畸变的 每一个镜片的共轴性都提出了很高的要求 ，高精度
Aug．2011 L一
第28卷 第8期
Vo1．28 No．8
的镜片中心偏差测量装置成为生产投影曝光物镜必 接收分划板所成的像经过耦合透镜被CCD接收成像，
不可少的设备。本文介绍了目前国内外各种主要的 并将成像的电信号传给计算机进行后续工作。当被
中心偏差测量方法和装置。 测透镜被旋转时，任何偏心的透镜表面都会导致反
射指标像作圆周运动，通过获取该圆的直径 ，被测
2 测量方法分类
面的中心偏差e如式 1所示：
对于中心偏差的测量 ，目前主要有两种分类方
法。一种是根据所用光源的相干性分为准直成像法 e 若 ()
其中， 是显微物镜的放大率。
和干涉测量法；另一种是根据光线传播方式将其分
为反射式测量和
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