面向聚合物微器件超声波精密封接的阵列微导能结构.pdfVIP

第 l9卷 第 4期 光学 精密工程 V01．19 NO．4 2011年 4月 OpticsandPrecisionEngineering Apr．2011 文章编号 1004—924X(2011)04—075408 面 向聚合物微器件超声波精密封接的阵列微导能结构 罗 怡 ，张苗苗。，孙屹博 ，王晓东 (1．辽宁省微纳米技术及系统重点实验室，辽宁大连 1i6024 2．大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室，辽宁大连116024) 摘要 ：为提高聚合物超声波精密封接的可控性，预防高温度场下聚合物 的熔融流延影响封接界面质量和精度 ，提出了阵 列式微导能结构 。以聚 甲基丙烯酸甲酯 (PMMA)微小管道的封接为实验对象 ，研究 了阵列微导能结构的尺度对超声波 封接过程 的影响 ；采用热压成型工艺在被封接表面制作 了5组不 同高度 的微结构。采用基于声波传递效率反馈 的超声 波精密封接方式 ，对超声波作用下聚合物界面 的润湿行为进行 了观察分析 ，讨论 了结构尺度对超声波封接质量 的影 响。 结果表明，随着微结构尺寸的增大 ，实现完全联接需要的超声波能量呈递增 的趋势 。该种微导能结构有效控制 了聚合物 熔融流延 ，获得了均一的封接面，可实现高质量精密封接 。 关 键 词 ：超声波精 密封接 ；MEMS；聚合物器件 ；导能结构；润湿 中图分类号 ：TB559 文献标识码 ：A doi：10．3788／OPE．20¨1904．0754 M icroenergy directorarrayforultrasonic precisesealingofpolymerM EM Sdevice LUO Yi，ZHANG M iao—m iao。，SUN Yi—bo ，W ANG Xiao—dong (1．KeyLaboratoryforMicro／NanoTechnolog~yandSystem ofLiaoning Province，Dalian[~％iversityojTechnoLogy，Dn[fa1lg324，C6fnct 2．KeyLaboratoryforPrecisionandNon—traditiona[MachiningTechnologyofthe MinistryofEdue’ation，DalianUniversityofTechnology，Dalian116024，China) Abstract：Inorderto improvetheefficiencyofultrasonicbondingprocessforapolymerElectro—M e— chanicalSystem (MEM S)andtopreventtheflow ofpolymerunderahightemperature，amicroenergy directorarraywasproposed．BasedontheexperimentofPMM A m icro—pipesealing，theinfluenceof microenergydirectorarrayontheprocessofultrasonicsealingwasstudied．FivekindsOfmicroener— gYdirectorswith differentheightswerefabricatedon the sealing surface by a hotembossing tech— nique．Themethodofultrasonicprecisesealingbasedonacoustictransferefficiencyfeedbackwasused intheexperimenttostudytheinfluenceoftheheightofthemicro——arraystructureonthequalityoful·· trasonicsealingandtoobservethewettingbehaviorofm