第七章波导输入和输出耦合器剖析.pptVIP

第七章 波导输入和输出耦合器 光栅耦合器 适当地选择光束的入射角度，光栅耦合器就可以用来选择性地将光束能量耦合进特定的波导模式中； 同样的道理，某一特定的波导模式的能量可以从对应的某一特定角度耦合出来，所以光栅耦合器也可以用做输出耦合器。 光栅耦合器的主要缺点： 入射光会形成很多级衍射光，但是只有某一级衍射光才与某阶导模满足相位匹配条件，大部分衍射光的能量透过波导层而损耗于衬底，所以光栅耦合器难以达到棱镜耦合器那样高的耦合效率。 采用闪耀光栅可以大大提高光栅耦合器的耦合效率。 光栅耦合器 光栅耦合器的主要优点： 一旦制作完毕，光栅耦合器就是波导结构的一个组成部分，所以它的耦合效率是一个恒定量，而且不随外界条件明显改变； 光栅耦合器能用于高折射率半导体波导上，而这种波导难以找到合适的棱镜材料。 由于光栅耦合器对角度的依赖性大，所以它也不能有效地用于半导体激光器与波导的耦合。 光栅耦合器 光栅条纹图样的形成 两束倾斜相交的相干激光束（由同一束激光分束得到）产生的干涉图样对光刻胶曝光，形成光栅图样。 显然， 不能小于 。 光栅耦合器 全息光栅曝光棱镜法：利用棱镜可以比普通曝光法获得更小的栅条间距。 ：棱镜材料的折射率 光栅耦合器 光刻胶经过曝光后，使用标准方法显影，在波导表面产生所需要的掩膜，再利用刻蚀方法（化学刻蚀或离子束刻蚀）制作光栅。 作为刻蚀方法的替代，另一种在波导表面制作光栅