双三角型多通道中波红外干涉检测装置.PDF

(19)中华人民共和国国家知识产权局 *CN102749042A* (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 102749042 A (43)申请公布日 2012.10.24 (21)申请号 201210245019.3 G02B 17/06 (2006.01) (22)申请日 2012.07.16 (71)申请人 南京理工大学 地址 210094 江苏省南京市玄武区孝陵卫 200 号 (72)发明人 高志山 袁群 张聪旸 (74)专利代理机构 南京理工大学专利中心 32203 代理人 朱显国 (51)Int.Cl. G01B 11/24 (2006.01) G01N 21/45 (2006.01) G01M 11/02 (2006.01) G02B 27/10 (2006.01) 权利要求书 1 页 说明书 4 页 附图 3 页 权利要求书1 页 说明书4 页 附图3 页 (54)发明名称 双三角型多通道中波红外干涉检测装置 (57)摘要 一种双三角型多通道中波红外干涉检测装 置，包括4.4 μm 半导体激光器、第一反射镜、第二 反射镜、扩束镜、第一分光镜、第二分光镜、离轴抛 物面反射镜、光阑、成像透镜、中波红外探测器、第 一折转反射镜、毛玻璃屏、第二折转反射镜、对点 成像透镜、切换反射镜、参考镜、待测件依次顺序 构成，其中第二反射镜、扩束镜、第一分光镜、第二 分光镜构成内三角；第一折转反射镜、毛玻璃屏、 第二折转反射镜与切换反射镜构成了外三角，故 称为“双三角”光路；双三角型多通道中波红外干 涉检测装置，对成像透镜进行了消色差的优化设 计，只需更换激光器和探测器就可以使该检测装 置分别在3.39 μm、4.4 μm 和10.6μm 三个波长下 A 正常工作。 2 4 0 9 4 7 2 0 1 N C CN 102749042 A 权 利 要 求 书 1/1 页 1. 一种双三角型多通道中波红外干涉检测装置，包括4.4 μm 半导体激光器 [1]、第 一反射镜 [2]、第二反射镜 [3]、扩束镜 [4]、第一分光镜 [5]、第二分光镜 [6]、离轴抛物面 反射镜 [7]、光阑 [8]、成像透镜 [9]、中波红外探测器 [10]、第一折转反射镜 [11]、毛玻璃 屏 [12]、第二折转反射镜 [13]、对点成像透镜 [14]、切换反射镜 [15]、参考镜 [16]、待测件 [17]依次顺序构成，其特征在于：第二反射镜 [3]、扩束镜 [4]、第一分光镜 [5]、第二分光 镜 [6]构成内三角；第一折转反射镜 [11]、毛玻璃屏 [12]、第二折转反射镜 [13]与切换反 射镜 [15]构成了外三角；由4.4 μm 半导体激光器 [1] 发出的中波红外激光依次经过第一 反射镜 [2]和第二反射镜 [3]反射，入射至扩束镜 [4]，扩束镜 [4]将入射平行光会聚，会 聚光束经过会聚焦点以后变为发散的球面波，球面波依次经过第一分光镜 [5] 和第二分光 镜 [6]反射至离轴抛物面反射镜[7]，该离轴抛物面反射镜[7]的焦点与扩束镜[4]的焦点 重合，发散球面波经离轴抛物面反射镜 [7]反射后变成准直的平行光束，该平行光束经过 标准镜 [16]和被测件 [17]后返回，再经过离轴抛物面反射镜 [7]反射变为会聚的球面波， 会聚球面波的一部分经第二分光镜 [6] 的前表面反射，依次透射经过第一分光镜[5]、光阑 [8]和成像透镜[9]，最终被中波红外探测器[10]采集形成测试成像光路；会聚球面波的另 一部分经第