表5-1真平度之标注与说明.PDFVIP

第五章 真平度測量 5-1 真平度（Flatness ）及其測量 表 5-1 真平度之標註與說明 真平度又稱平面度或平坦度 ，其定義為 ：以相距最小距離之兩平 行平面包絡所有平面量測點 ，此最小距離即為真平度 ，其標註與說明 如表 5-1 。真平度之測量可大約分為大平面、一般工件平面、精細小 平面等之測量， 一般工件平面之測量 ，視其精度要求 ，可以簡易法量取或經由各 種量測設備如三次元 、直邊規配合量表 、電子水平儀 、視準儀配合反 射鏡等獲得平面點數據後 ，再以最小平方誤差法 、最小區域法等作電 腦輔助計算 ，精細小平面以光學平板量測之 ，本節僅針對最小平方誤 差法作詳細說明，最小區域法將不在本書介紹。 5-1 簡易法求真平度 簡易法之實施方式為 ：以受測平面上三點為基準點 ，相對此三點 構成之平面 ，找出受測平面上下起伏之總量即得簡易法真平度 。以調 整台於平板上實施（如圖5-1 ）之步驟為 ：（1 ）受測件置於調整台上， 受測面朝上，（2 ）取受測平面上三點為基準點，調整此三點量表讀 數相同，（3 ）以量表於受測平面上全面掃描，總偏擺量即為簡易法 真平度。 圖5-1 調整台簡易法求真平度 簡易法亦可以基準點墊高法求取 ，可免去基準點高度調整程序 ，如圖 5-2 所示，受測面朝下，以等高之柱塞規三支（亦可以塊規或精密墊 塊）支撐三基準點於平板上 ，再以槓桿式量表測量底面（即受測面）， 總偏擺量即為真平度。 圖5-2 基準點墊高法求真平度 5-3 干涉法求真平度 利用光波之干涉原理 ，解讀干涉條紋以求取平面之真平度 ，通常用於 精細小平面之測量 （如塊規量測面、分厘卡測砧面、光學平板 、平面 鏡、長度標準桿之端面等），受測平面必須夠光滑以觀察干涉條紋， 干涉法使用之儀器有干涉儀 、光學平板等 ，使用儀器雖不同 ，但干涉 條紋之判讀是一樣的，本節僅就干涉條紋之判讀加以說明。 （a ）光學平板1 （b ）光學平板2 a λ 6 λ 3λ a λ 2 λ λ 中間凸出 ( ) ( ) 中間凸出 ( ) ( ) b 2 5 2 5 b 2 3 2 3 受測面真平度 [註]λ為量測用光源之波長 圖5-3 光學平板測量例 干涉條紋圖形判讀條件： （1 ）對受測平面應至少於互相垂直的兩個方向進行測量（最好是所 有方向），以找出平面度誤差最大方向，判讀該方向之干涉條 紋圖形。如圖5-3 所示 ，兩方向凸出狀況不同 ，所得條紋不同。 （2 ）干涉條紋圖形之描繪，至少應包含受測面輪廓、干涉條紋、近 端（光學平板與受測面最接近位置）或接觸點、判讀線等。 5-4 直接接觸法求真平度 如圖 5-4 ，先以設定塊設定歸零，然後直接將受測面面向量表探頭， 測得之量表總偏擺量即為直接接觸法真平度。 圖5-4 直接接觸法求真平度 5-5 最小平方法求真平度 以電腦輔助形狀誤差計算 ，最小平方法為一般最基本的方法 。一 般平面方程式可表示為： Z −AX −BY −C 0 （5-1 ） 其中A 、B 、C 為係數，X 、Y 、Z 為通過此平面之座標值，每一取樣 點(X ,Y ,Z ) 之誤差可表示為： i i i E Z AX BY C i n