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基于傅里叶变换的单帧闭合条纹相位解调方法_徐建程_陈曌
第 卷第 期 光 子 学 报
43 8
Vol.43No.8
年 月
2014 8 Au ust2014
ACTA PHOTONICA SINICA g
: /
doi10.3788 zx0810001
g
基于傅里叶变换的单帧闭合条纹相位解调方法
,
徐建程 陈曌
( , )
浙江师范大学信息光学研究所 浙江金华 321004
: , 、
摘 要 提出一种有效的单帧闭合条纹解调方法 该方法采用傅里叶变换 带通滤波器和傅里叶逆变换
, 、
估得初始相位 然后通过图像分割 相位符号校正和 多项式拟合得到高准确度相位分布 用图
Zernike .
,
像分割和相位符号校正解决了相位符号不确定性 用Zernike多项式拟合抑制了分割线附近的局部相
( 、 ) ,
位误差 数值分析了残余相位误差与干涉图参量 如倾斜量 离家量和随机噪音 之间的定性关系 结果
.
: , / ,
表明 该方法所得相位与 ZYGO移相干涉仪测试结果吻合较好 残余相位误差小于参考值的 1 10验证
了该方法的有效性.
: ; ; ;
关键词 干涉测量 相位解调 闭合干涉图 傅里叶变换
中图分类号: 文献标识码: 文章编号: ( )
O436.1 A 20140808100015
- - -
PhaseDemodulationofSin leClosedInterferoramBasedon
g g
FourierTransform
,
XU Jianc
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