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第六章 位移测量 * 位移是物体上某一点在一定方向上的位置变动,因此位移是矢量。测量方向与位移方向重合才能真实地测量出位移量的大小。若测量方向与位移方向不重合,则测量结果仅是该位移量在测量方向上的分量。 位移测量从被测量来的角度可分为线位移测量和角位移测量;从测量参数特性的角度可分为静态位移测量和动态位移测量。许多动态参数,如力、扭矩、速度、加速度等都是以位移测量为基础的。 第一节 慨述 第二节 常用位移传感器 一、滑线电阻式位移传感器 滑线电阻式位移传感器工作过程: 被测位移量ΔX ΔR ΔU 外接电路 优点;结构简单,性能较稳定,使用方便。 缺点;受阻经直径影响,分辩率不高,运用检测精 度不高的场合,噪声大. 电阻式位移传感器的性能及特点 结构牢固,寿命长,但分辨力差,电噪声大 分辨力较好,可静态或动态测量。机械结构不牢固 特点 ±0.5% ±0.5% ±0.1% ±0.1% 直线性 ±0.5% ±0.5% ±0.1% ±0.1% 精确度 0~60r 1~1000mm* 0~360° 1~300mm* 测量范围 角位移 线位移 角位移 线位移 变阻器 滑线式 型式 二、应变片式位移传感器 利用弹性元仵把位移量转换成应变量 应变式位移传感器工作过程: 被测位移量ΔX 测杆运动 弹性元件(悬臂梁)产生应变 弹簧作用 贴 应变片 电阻ΔR 外接电路 电量输出 电阻应变式位移传感器的性能及特点 输出幅值大,温度灵敏性高 牢固,使用方便,需温度补偿和高绝缘电阻 不牢固 特点 满刻度±20% ±1% ±1% 直线性 ±2%~3% ±2%~3% ±0.1% 精确度 ±0.25%应变 ±0.3%应变 ±0.15%应变 测量范围 半导体的 粘贴的 非粘贴的 型式 差动变压器式位移传感器 工作过程: 被测位移量ΔX 测杆运动 衡铁在线圈中运动 电感量ΔM变代 电量Δe 外接电路 电感式位移传感器的性能及特点 非线性误差与变压比和测量范围有关 分辨力好,受被测物体材料,形状加工质量影响 分辨力好,受到磁场干扰时需屏蔽 测量范围较宽使用方便可靠,动态性能较差 只适用于用于微小位移测量 特点 ±0.1% ±0.05% <3% ±0.5% ±3% ±3% 直线性 ±1% ±1% ±1~3% ±0.5% ±1% ±1% 精确度 ±60° ±10° ±2.5~±250mm* ±0.08~75mm* 1.5~2mm ±0.2mm 测量范围 螺管型 变气隙型 旋转变压器 微动同步器 涡电流式 差动变压器 自感式 型式 电容式位移传感器的性能及特点 分辨力很好,但测量范围很小,只能在小范围内近似地保存线性 受介电常数因环境温度,湿度而变化的影响 特点 1% ±1% 直线性 0.1% ±0.005% 精确度 10-5~10mm* 10-3~1000mm* 测量范围 变间距 变面积 型式 第三节 位移测量的应用 一、回转轴径向运动误差的测量 回转轴运动误差是指在回转过程中回转轴线偏离理想位置而出现的附加运动。回转轴运动误差的测量,无论对于精密机床主轴的运动精确度,还是对于大型、高速机组(例如汽轮机一发电机组)的安全运行都有重要意义。 运动误差是回转轴上任何一点发生与轴线平行的移动和在垂直于轴线的平面内的移动。前一种移动称为该点的端面运动误差,后一种移动称为该点的径向运动误差。 端面运动误差因测量点所在半径位置不同而异,径向运动误差则因测量点所在的轴向位置不同而异。 1.双向测量法 任意径向截面上的径向误差运动可采用置于x、y方向的两只位移传感器来分别检测径向运动误差在x、y方向的分量。在任何时刻两分量的矢量和就是该时刻径向运动误差矢量。 2.单向测量法 有时只需要测量运动误差在某个方向上的分量(例如分析机床主轴的运动误差对加工形状的影响),则可将一只位移传感器置于该方向来检测。 测量时必须利用基准面来“体现”回转轴线。通常是选用具有高圆度的圆球或圆环来作为基准面。直接采用回转轴上的某一回转表面来作为基准面虽然可行,但由于该表面的形状误差不易满足测量要求,测量精确度较差。 用双向测量法测量轴的径向运动误差 设Oo为理想回转中心,Om为基准球的几何中心,Or为瞬时回转中心,e为基准球的安装偏心,θ为转角,并令e与x轴平行时θ =0,r(θ)为径向运动误差。若基准球半径Rm远远大于偏心e和径向运动误差r(θ),则两传感器检测到的位移信号dx和dy分别为: 位移传感器 位移传感器 测量仪 测量仪 右侧第一、二项分别为偏心e和运动误差r(θ)在x、y方向上的投影,而第三项则为基准球上相差90°的两对应点处的形状误
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