激光测量技术-第三章 激光衍射测量技术.ppt

第三章 激光衍射测量技术 党学明 合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院 本章的主要内容 主要内容: 第一节 激光衍射测量原理 第二节 激光衍射测量方法 第三节 激光衍射测量的应用 内容提示: 重点: 衍射及衍射现象在测量中的应用 学习方法: 衍射测量的思维与方法 第一节 激光衍射测量原理 衍射/绕射:波能够绕过障碍物而弯曲地向它后面传播的现象，称为波的衍射现象 波: 声、光、电磁、机械波 障碍物：大小、形状对现象均有影响 现象：与波的波长、障碍物的大小、光源/观察的位置有关 第一节 激光衍射测量原理 光的波长短， 对很小的缝隙/屏才有明显的衍射现象，激光出现后， 衍射现象才实际应用到测量中： 1973年 Canada 国家研究所 T.R. Pryer 提出了激光衍射测量的方法 衍射测量的特点： 全场， 非接触， 稳定性好，自动化程度高，精度高 一、 菲涅耳和夫琅和费衍射 划分：按光源、障碍物/衍射物，观察屏三者之间的距离或位置划分菲涅耳衍射和夫琅和费衍射 （1）菲涅耳衍射/近场衍射 光源—障碍物—接收屏距离为有 限远 （2）夫琅和费衍射/远场衍射 光源—障碍物—接收屏距离为无 限远 一、 菲涅耳和夫琅和费衍射 夫琅和费衍射是我们衍射测量的基本原理 其常用的光路图如下： 二、单缝测量原理 1. 单缝衍射现象 其观察屏的光强分布： 有菲涅尔衍射原理有 由基尔霍夫条件知： 则光强分布： 二、单缝测量原理 单缝衍射的特点： 1）中央明纹最亮、最宽，它的宽度为其他各级明纹宽度的两倍 2）次级明纹的光强随级次的增加而逐渐减小3）若光程差不等于 λ/2 ?的整数倍，亮度介于最明与最暗之间。 4）条纹的方向平行于缝的方向 5）暗条纹β=kπ 即 2. 单缝测量的原理 当θ不大时则有: 2. 单缝测量的原理 由此可以得出以下结论: 测定L Xk的大小,就能计算狭缝宽度 测定b Xk的大小, 就能计算L的大小 如果Xk变化, L已知, 反映了狭缝的变化,可实现在线测量 由公式可知,暗条纹间距为固定值 所以通过测量条纹间距,也可以测量以上各值 3. 单缝测量的能力 测量分辨力 反映了测量最小分辨能力, 级数越高 L越大, 波长越长, 分辨力越高 反映了狭缝对尺寸的放大倍数, 即放大了1/t倍 Xk的测量分辨力,决定了狭缝的测量分辨力 3. 单缝测量的能力 测量精度 由于一般激光频率稳定度可达10-6,可以忽略波长的影响 考虑环境因素的影响,一般测量的精度可达±0.5um 测量量程 b越小,β越大,衍射明显 b越小, XK变大,光强分布减弱,高级次条纹不明显 b越大, XK变小,条纹变密, 传感器不易放置, 灵敏度下降 Lb2/λ, 仪器尺寸限制, b基本确定 测量量程 三 、圆孔衍射测量 屏上接受光强： J1为一阶贝塞尔函数 X为： 三 、圆孔衍射测量 由一阶Bessel函数知，其零点位置 分别为：3.83， 7.02，10.17… 则Airy斑的大小有： Airy集中了84%的能量以上 第二节 激光衍射测量方法 衍射测量根据夫琅和费狭缝和圆孔衍射原理进行测量： 1、间隙测量法 间隙法主要运用单缝衍射原理，通过测量某一暗条纹的距离， 通过公式，计算出被测量的大小。 主要分： 尺寸比较 形貌测量 c. 传感器 可以测量应力/应变，温度，压力，加速度等 1、间隙测量法 测量出某一暗条纹的位置后,利用衍射公式,计算出变化量的多少. 也可以通过计数某一位置(衍射角度固定), 衍射条纹数的变化条数计算 第一种,为绝对测量法 第二种为增量测量法 1、间隙测量法 基本的间隙法测量装置: 2、反射衍射测量法 反射衍射法是利用试件棱缘和反射镜构成的狭缝来进行衍射测量的。 由于平面镜作用,相当于虚线的光源发出的光照射, 则两端线光程差为: 2、反射衍射测量法 将右式展开: 则有 带入 所以有: 2、反射衍射测量法 特点： 1、灵敏度提高一倍 2、入射光可以以一定角度入射，布置方便 应用： 表面质量评价、直线性测定、间隙测定等 3、分离间隙法 利用参考物和试件不在一个平面内所形成的衍射条纹进行精密测量的方法被称为分离间隙法 原理图: P1出现暗条纹的条件: 3、分离间隙法 P2出现暗条纹的条件: 3、分离间隙法 应用举例: 4、互补测屏法 巴俾涅（A.babinet）原理 一对互补屏各自在衍射场