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半导体开关与RFMEMS开关性能分析与比较-硬件和射频工程师
维普资讯
第25卷第4期 辽宁工程技术大学学报 2006年 8月
、,01.25 No.4 JournalofLiaonimzTechnicalUniversi Aulz. 2006
文章编号:1008-0562(2006)o40574.04
半导体开关与RFMEMS开关性能分析与比较
南敬昌 一,刘元安 ,冯永生
(1.北京邮电大学 电信工程学院,北京 100876;2.辽宁工程技术大学 电子与信息工程系,辽宁 葫芦岛 125105)
摘 要:为找出影响微波开关性能的参数及其开关的发展方向,从物理机理上分析和比较了.半导体升茂和RFMEMS(射频微电机械)
开关的性能。提出了微波串联开关的理想模型,定义了开关的品质因数,应用器件物理理论和 电容公式推出了半导体开关和MEMS开
关的品质因数表达式,分析出影响开关性能的参数,提出改善的方法 通过相关权威测试的品质因数得出: RFMEMS开关比半导体
开关具有更优的性能,与理论分析相一致。通过开关的性能比较,明确RFMEMS是可广泛地应用到射频微波电路中,有好发展前景。
关键词:RFMEMS开关;PIN开关;MESFET开关 品质因数;性能比较
中图分类号:TN61;TN385 文献标识码:A
PerformanceanalysisandcomparisonofsemiconductorandRFMEMS
switches
NANJing-chang’,LIUYuan-an ,FENGYong·sheng
(1.CollegeofTelecommunicationEngineering,BeijingUniversityofPostsandTelecommunications,Beijnig,
100876,China;2.DepartmentofElectronicna dInformationEngineering,LiaoningTechnicalUniversity,
Hniudao,125105,China)
Abstract:InordertOfindtheparametersaffectinghteperformanceofmicrowaveswitchesnadhtedeveloping
directionofswitches,hteperfomr naceofsemi conductornadRFMEMESswitchesisnaalyzednadcomparedin
termsofphysicalworkingmechanism ofdevice.Anidealmodelofmi crowaveseriesswitchesispresented,FOM
(figureofmerit)ofswitchesisdefined.ThemahtematicalexpressionsofFOM forsemiconductornadRFMEMS
switchesarederivedfrom hteoriesofdevicephysicsnadfomr ulaofacapacitor,thepraameters aff cetinghte
perfomr naceofswitchesCna befound,nadhtemehtodsimprovinghteperfomr naceofswitchesraeproposed.
AccordingtOtestdataofsomeauhtoriattiveliteratures,theconclusionCna bedrawnhtatRFMEM S switches
havebetterperformancethansenficonductorswitches,whichisinconsistentwiht htoereticalnaalysis.RFMEM S
switchesraeofapromi
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