铌酸锂表面波器件基底最佳切割方向.PDF

第 37卷 第 8期 北 京 工 业 大 学 学 报 V01．37 NO．8 2011年 8月 JOURNAIOFBEIJ1NG UNIVERS1TY OFTECHN0L0GY Aug．2011 铌酸锂表面波器件基底最佳切割方向 俞宽新，刘 韬，王 勇 (北京工业大学 应用数理学院，北京 100124) 摘 要 ：为在表面波器件设计时选择基底 的最佳切割方 向，推导表面波压 电增劲 晶体声学基本方程和表面波边 界条件方程，使用循环迭代法，对铌酸锂晶体最佳退耦的声弧矢 平面计算了沿不同方向的电自由条件表面波 声速与电短路条件表面波声速．在此基础上计算了机 电耦合系数，并确定最大机 电耦合系数的方向为基底的最 佳切割方向．计算结果表明，铌酸锂晶体作为表面波器件基底的最佳切割方向为 164。Y切． 关键词 ：表面波 ；铌酸锂 晶体 ；压电效应 ；机 电耦合系数 中图分类号：O422．1 文献标志码 ：A 文章编号：0254—0037(2011)08—1221—05 表面波器件的基底必须使用压电晶体，在此基底 晶片上镀叉指换能器，在电信号的驱动下，它可以产 生出表面声波．铌酸锂晶体具有优 良的压 电性能，常用来制作体声波器件的换能器 和表面波器件 的基 底 ，如延迟线 、滤波器 、振荡器、卷积器 、声光器件等 ．确定基底晶片的最佳切割方向有 2个原则 ：一是表 面波基底的声弧矢面，即由声波矢传播方向与晶片法线方向所组成的平面必须是退耦的．退耦面内的表 面波是平面偏振或线偏振 ，不需要分解声振幅，有利于提高声能量的利用率．晶体的对称镜面或法线方 向 为2度轴的平面是退耦平面．铌酸锂晶体属于3In晶类 ，其 平面是对称镜面，故该平面是铌酸锂表面波 的退耦平面．二是表面波传播方 向的机 电耦合系数最大，以保证 电声能量转换效率最大．机电耦合系数 由表面波声速决定 ，虽有一些有关表面波声速计算 的报道 。，但未见系统 的机 电耦合系数计算 的报 道．作者推导计算 了表面波声速所用 的压 电增劲 晶体声学基本方程和边界条件方程 ，然后使用循环迭 代法 ，对铌酸锂 晶体退耦 的声弧矢 平面计算 了沿不 同方向的表面波声速 ，包括 电自由条件声速和电 短路条件声速 ，最后计算出沿不同方 向的机 电耦合系数，并确定铌酸锂晶体作为表面波器件基底 的最 佳切割方 向． 1 表面波基本方程 表面波区别于体波的特点有 ：振幅随晶片表面 法线方向的深度按指数规律衰减 ；存在边界条件包括 力学边界条件和电学边界条件 ；由电学波和力学波耦 合而成．为了计算铌酸锂最佳退耦 面 内的机 电耦 合系数 ，需计算表面波声速随方 向变化的规律．图 1 图 1 表面波器件退耦声弧矢面坐标系 中，晶面法线方 向为 z轴，表面波传播方向沿Y轴． Fig．1 Coordinatesystem in decouplingacoustic sagittalplaneofSAW device 1．1 表面波压 电增劲晶体声学基本方程 将力学 中牛顿定律和电学 中麦克斯韦方程代人 晶体的压 电性能方程组中，可以得到 e0k + Cijkt “：p ，eijk ，一 ．=0，(i，-J-，，f=l，2，3) (1) ， ， 收稿 日期 ：2009—07-13． 基金项 目：北京市教育委员会科技发展计划项 目(01KJ一022)． 作者简介 ：俞宽新 (1946一)，男 ，江苏南京人，教授 ，博士生导师 万方数据 北 京 工 业 大 学 学 报 其 中，P为晶体密度 ；eqk为压电系数 ，是三阶张量；c川为劲度系数 ，是 四阶张量 ；，为介 电系数，是二阶张 量．“和 u为晶体质点的位移矢量，其 3个分量分别对应于 3个力学波； 为晶体中的电势，对应于 电学 波．逗号表示对后面下标所对应的坐标求导．3个力学波