GB/T 29658-2013电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材.pdf

ICS77.120.10 H 61 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT29658 2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材 Hih-uritsutterin aluminiumandaluminium g p yp g allo taretusedinelectronicfilm y g 2013-09-06发布 2014-05-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT29658 2013 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 ( / ) 。 本标准由全国有色金属标准化技术委员 SACTC243归口 : 。 本标准负责起草单位 有研亿金新材料股份有限公司 : 、 。 本标准参加起草单位 宁波江丰电子材料有限公司 新疆众和股份有限公司 : 、 、 、 、 、 、 、 、 、 、 本标准主要起草人 万小勇 罗俊锋 廖赞 尚再艳 杨华 朱晓光 孙秀霖 何金江 熊晓东 王兴权 、 、 、 、 、 、 。 王学泽 钱红兵 喻洁 刘杰 洪涛 努力古 宋玉萍 Ⅰ / — GBT29658 2013 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材 1 范围 、 、 、 、 本标准规定了电子薄膜制备用高纯铝及铝合金靶材的要求 试验方法 检验规则及标志 包装 运 、 、 ( ) 。 输 存贮 订货单 或合同 等内容 ( )。 本标准适用于电子薄膜用各类高纯铝及铝合金溅射靶材 以下简称铝靶 2 规范性引用文件 。 , 下列文件对于本文件的应用是必不可少的 凡是注日期的引用文件 仅注日期的版本适用于本标