钻石薄膜的传热与应用.pdfVIP

鑽石薄膜的傳熱與應用 摘要 鑽石是目前已知自然界最堅硬的物質，擁有最大的抗磨耗能力， 同時又是傳熱最快的晶體，它的導熱係數是銀的六倍、銅的七倍，可 利用它此特性，並加上低壓氣體所成長薄博的一層鑽石膜，且滲以雜 質，就可以做為新一代的電子元件的基礎材料-鑽石半導體。 關鍵字：鑽石傳熱、鑽石薄膜。 一、 鑽石簡介 鑽石的正式學名是金剛石（diamond ），它是目前已知自然界最堅 硬的物質，具有最大的抗磨耗能力，同時也是導熱最快的晶體，它的 傳熱速率比導熱最快的金屬如銀、銅等還要快上六、七倍之多，是極 重要的工業、軍事及國防材料。由於鑽石同時具備了很高的折射率 （2.42 ，玻璃只有1.5 ）與很高的色散（把白光分散為彩虹色光的能 力），因此幾千年來一直是人類社會的珍貴寶石。時至 21 世紀的今 天，鑽石仍然是女孩的最佳朋友，同時也被認為是男女之間永恆愛情 的象徵。 由於鑽石的經濟價值及稀少性，自從譚能特發現鑽石其實和石墨 都是碳元素的結晶以來，不少科學家和業餘人士都努力嘗試以人工方 法製造鑽石晶體。歷史上曾有不少人自稱成功地合成出鑽石，然而後 來的科學檢驗證實，在譚能特認為鑽石就是純碳結晶以後的 150 年 間，並沒有任何一個人能製造出一顆人工鑽石晶體。雖然如此，失敗 的確是成功之母，前人的嘗試、努力與失敗的經驗，的確為後來的人 造鑽石工業建立了堅固的基石。 二、 鑽石的傳熱性質 說起來也蠻奇特，除了IIb鑽石是半導體外，其他的各類鑽石都是 電的絕緣體，但是所有鑽石都是傳熱高手。金屬導電和傳熱靠的是外 圍電子，但鑽石的外圍電子都用在鍵結上，沒有多餘的外圍電子可用 來導電，因此IIb以外的鑽石都不導電。鑽石傳熱靠的不是外圍電子， 而是聲子（phonon ）。當物質的成分越單純、結構越簡單、雜質越少 時，聲子運動就越快，傳熱速率也就越快。鑽石的組成只有單一元素 碳，結構也十分簡單。Ia 、Ib 、IIa及IIb 4種鑽石中，IIa最純淨、雜質 最少，因此擁有最高的傳熱速率，導熱係數高達26watt／K-cm ，比傳 熱最快的金屬銀、銅還要快6 ∼ 7 倍。I I b 鑽石含有少量硼雜質，導 熱係數仍有15watt／K-cm 。第1類鑽石雜質含量較高，依雜質含量高 低，導熱係數在9∼20watt／K-cm之間。 三、 化學氣相沉積法 在 1960 年代初期，美國人愛佛索（William G. Eversole ）與俄國 人狄亞金（Boris V. Derjaguin ）分別獨立研發出鑽石的低壓介穩合成技 術。但這種鑽石合成法在當時由於技術尚未成熟，而且高溫高壓觸媒 法已經進入生產線開始量產，因此並未受到太多的重視。一直到 1980 年以後，日本、歐洲、臺灣以及美國相繼投入研發，到 2000 年時已 有部分技術應用於工業界。這裡所稱的低壓，大約從接近真空到 100 torrs （一大氣壓= 760 torrs ）左右，這原本是石墨晶相的壓力範圍， 居然也可以生長出鑽石，的確有些奇特。 因為不是在鑽石的穩定壓力下培育鑽石，所以稱為介穩定合成技 術。它的主要原理是把含碳氣體如甲烷（CH4 ）以及氫氣通入低壓的 反應室，在反應室內 CH4 透過高溫（約攝氏 2,000 度的鎢絲）或微 波的裂解生成CH3 、CH2 、CH ，乃至於碳原子，這些碳或碳氫基沉積 在溫度較低（攝氏 900 度或更低）的基板上面，基板可以是鑽石晶 種、各類金屬、玻璃、矽晶片或其他材料。沉積到基板上的碳除了形 成 sp2 鍵外，也會形成 sp3 鍵，因此鑽石與石墨會同時生長在基板 上。 雖然高溫氫氣裂解所產生的氫原子會侵蝕鑽石及石墨晶體，但是 氫原子侵蝕石墨的速率遠超過侵蝕鑽石的速率，或者說在氫原子環境 下鑽石比石墨穩定，因此經過一段時間的培育，基板上便長出鑽石薄 膜。這種鑽石薄膜的生長速率一般是每一小時一微米左右，厚度可以 由 10 微米到一毫米。順便一提的是，太空中所發現的奈米鑽石的形 成機制，有不少人把它歸類於化學氣相沉積的生長機制。 四、 鑽石薄膜的應用 化學氣相沉積的鑽石薄膜培育技術，為人類帶