AFM中光干涉对测量结果影响的探究 贾晓明 （材料系 电子科学与技术.DOC

AFM中光干涉对测量结果影响的探究 贾晓明 （材料系 电子科学与技术专业， 0530091） 摘要： 原子力显微镜（AFM）是现在技术条件下探索微观世界一种有效的工具，光反射法是微悬臂定位的一种重要方法，但是这种悬臂定位方法在悬臂弯曲度过大时会产生光泄露，泄露的光会与悬臂反射的光发生干涉，从而产生测量误差，影响测量效果。对于纳米级微观测量这种误差是不容忽视的，有必要采取措施加以克服。 关键字：原子力显微镜（AFM）；光干涉；样品测量；误差 引言 在现在科学技术中，常常需要研究尺寸小于可见光波长的物体，例如：研究单个蛋白质分子，考查样品原子尺度的缺陷等。几十年来，虽然相继有许多用于表面分析的现代仪器问世，但技术上总是存在繁琐或破坏性等缺陷。1986年，原子力显微镜（Atomic Force Microscope,AFM）的问世为探索微观世界打开了一扇更为广阔的大门。 AFM的基本原理是将一个微小的针尖装在一个对微弱力非常敏感的微悬臂上，当针尖靠近或接触样品时，针尖和样品表面之间微小的作用力会导致微悬臂梁弯曲变形，该变形将导致照射在微悬臂上的光路发生变化，这种光路变化通过处理转化为电信号记录输出（如图1-1），由于扫描针尖非常尖细，加上微悬臂很柔韧对微弱力非常敏感，所以AFM能在原子尺度上反映样品表面的微观形貌和物理性质。 （图1-1） 图 在AFM测量过程中，扫描针尖与样品表面的作用力是AFM测量的关键。针尖与样品表面相互作用时，通常有多种力同时作用于针尖，其中最主要的是范德华力，对于工作模式是接触模式的原子力显微镜主要表现为接触排斥力，另外还可能有静电力，磁力，样品表面张力，化学作用力等。所以在测量过程中可能会有温度、空气湿度、光照等多种因素影响针尖与样品表面的作用力，并最终影响测量结果和测量分辨率。当样品表面起伏较大时，容易出现微悬臂弯曲度过大，照射到微悬臂上的激光会产生光泄露，这部分泄露光经样品表面反射后会与微悬臂反射的光发生干涉从而产生误差。本文主要从实验角度分析证明这种光干涉现象的存在，并提出一定的处理和解决方法。 实验设备 实验使用的仪器为Nanosurf公司生产的easyScan E-AFM（如图1-2） 设备参数 扫描范围和分辨率： X-Y最大扫描范围：60-80um Z方向最大范围：20um XY平面分辨率：1.7nm 扫描特征： 自动进针范围：5mm 最大进针速度：0.1mm/s 最大扫描速度：1800数据点/每秒 反馈带宽：3kHz 重量：2.5kg 功率消耗：25VA 可兼容悬臂： （图1-2） 制造商：NanoSensors, NanoWorld 杨氏模量：0.2N/m，CONTR 可用针尖：Standard, Super Sharp Silicon, 1.6N/m，ZEILR High Aspect Ratio ,Diamond 3．证明光干涉影响的存在 实验条件：温度15℃ 空气湿度 53% 无明显外界光照环境 如下面图所示： （图2-1）（图2-2） （图2-3）（图2-4） 图2-1和图2-2分别是用同一台AFM对同一光栅样品从不同方向扫描所得的图像，图2-3和2-4是对应的3D图像。对同一图像颜色的深浅表示样品表面的相对高低（如图2-3和2-4）。以上图片说明三点：1.光栅样品除了凹坑，平台处高低大致相同，差异是由AFM测量过程中造成的。2. 通过AFM测量出的结果，平台出现区域性高低差异（如图中椭圆区域相对于其他颜色深的区域），并且这种测量结果的高低差异呈现规律性分布（图2-1，2-2中水平方向两凹坑之间），并具有统一的方向性（图2-1，2-2呈水平方向）。3.测量误差分布的区域性说明造成造成这种误差的因素不是温度，空气湿度等对测量有整体性影响的因素造成的，而是另有其他因素影响，即光干涉。 下面图2-5是图2-1的数据扫描过程图像： （图2-5） 图2-5左边是对应右边虚线位置针尖在扫描时记录的数据。可以看出针尖在扫描该位置时没有出现明显的“突跳”现象，也就是说上文提到的影响因素不可能是针尖“突跳”。 （图2-6） 以上图2-6三幅图是扫描时Z轴不同量程对应的图像，从三幅图对比可以看出减少Z轴量程会增大这种影响，也就是说同样情况下，微悬臂弯曲度增大会加大这种影响。这与“干涉光”影响的特点相契合，即悬臂弯曲度加大会