椭圆偏光仪实验.PDF

薄膜檢測技術 橢圓偏光儀實驗 南台科技大學 機械工程系微奈米技術組 四技奈米四甲 組員： 林妍伶 伍翠瑩 陳品蓉 指導老師: 林克默 老師 一、前言 橢圓偏光儀是用來測量一束偏振光從被研究的表面或薄膜上反射後偏 振狀態產生變化的光學儀器，用它可以得到表面或薄膜的有關物理參量的 信息。它是一種無損的測量方法，並且對於表面的微小變化有極高的靈敏 性，例如可以探測出清潔表面上只有單分子層厚度的吸附或污染。它在各 個領域中，如物理、化學、材料和照相科學、生物學以及光學、半導體、 機械、冶金和生物醫學工程中得到了廣泛的應用。 二、實驗目的 橢圓偏光儀是一種非接觸式、非破壞性、以光學技術量測薄膜表面特性 的方法。其量測原理係運用光在兩層薄膜間的介面或薄膜中發生的現象及 其特性的一種光學方法，除了可以量測薄膜的基本光學常數之外，還可以 用來測量薄膜的偏振特性及色散特性，特別是可研究薄膜生長的初始階段， 並用以計算分子層的厚度及密度等。 三、基本原理 2.1 橢圓偏光儀之儀器架構簡介： 1. 光源 (light source) ：光源可為單一波長的雷射光或白光產生器附加單 光儀 (monochromator) 以調變所需的波長。 2. 偏光片 (polarizer) ：光源一般為非偏極光，因此需藉一偏光片，將光 源轉成線性偏極光 (linearly polarized light) 。 3. 補償片 (compensator) ：通常為四分之一波片(quarter wave plate) ，光 學上稱為延相器 (retarder) ，若置於樣品之前，其作用在於將線性偏 極光轉成適當的橢圓偏極光，使光線經樣品反射後能變成線性偏極光 再進入檢測器。若置於樣品之後，其作用在於將樣品反射出的橢圓偏 極光轉成線性偏極光，再進入檢測器。無論何種擺置，延相器的功能 在於確定入射於分析片之前的光為線性偏極光。 4. 分析片 (analyzer) ：結構同偏光片，用於分析反射光之極化現象。 5. 偵測器 (detector) ：用來偵測反射光之強度，一般為光電倍增管 (photomultiplier)或發光二極體 。 2.2原理 橢圓偏光儀是利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或穿透時出現的偏 振轉換，得到兩獨立的數據 Ψ 與 Δ，稱之為橢圓參數，再經由所建構的 物理模型，計算求得折射係數 n、吸收係數k 值及膜厚 t (如圖一所示) 。 圖一、偏振光束在界面或薄膜上反射或穿透時出現的偏振轉換 橢圓偏光儀一般有兩種，一為歸零式的消光法 (null elliposmeter) (如圖 二 (a)所示 ) ，亦即旋轉橢圓儀中光學元件的角度( 亦可利用 Faraday cell 或 pockels cell 來調制) 使其偵測到的光訊號強度最小，再根據這些光學元 件之角度計算出 Δ 與 Ψ。另一種為相位調制光度量測法(photometric ellipsometer) (如圖二 (b)所示 ) ，這是利用相位調制技術，將其中之光學元 件加入調制訊號，然後利用鎖相放大技術來處理所得之光強度，再經由傅 利葉分析而求得 Δ 與 Ψ。 圖二、橢圓偏光儀示意圖 三、實驗材料及量測儀器 橢圓儀 校正片 AZO AZO 四、操作步驟 樣品對準 參數設定 光譜掃描 矽基板建模 基板厚度設定 CAUCHY MODEL建模 參數設定膜(