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数模混合集成电路测试系统
上海宏测半导体科技有限公司
M747
数模混合集成电路测试系统
Hardware Manual
V1.0.0
上海宏测半导体科技有限公司
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上海宏测半导体科技有限公司
一、 M747 系统简介：
M747 数模混合集成电路测试系统覆盖数字、模拟和混合信号等产品领域。其全部功能模块集成在一个测试
头中，与上位控制 PC 机、电源箱构成了整套测试系统。
1、灵活的系统结构，极高的扩展升级能力：
M747能针对不同的客户量身定制最合适的测试资源。满足当前的测试需要，最大
程度地降低测试成本；又能方便地升级 Option 或者扩展测试能力。
M747测试系统=通用测试平台+测试 option构成。测试 option 包括通用数字测试选
件 MDTO，低压模拟测试选件 MLVO，高压模拟测试选件 ,大电流模拟测试选件 MHCO,
混合信号测试选件 MSTO 等等多达15 种不同测试需求的 Option。
2、 高集成度，高测试资源配置：
M747采用单一的测试头结构，除了电源以外，整个系统集成在测试头内，没有庞
大的主机柜和连接线缆。整个系统只有电源和工控机传输线跟外围相连接。降低了系统
的运行成本，提高了信号的稳定性，提高了机台的平均无故障时间。同时减少了设备的
维护费用，获得更低的测试成本。
测试头内最大可以配置资源为：最大 512 路数字测试通道，最大 180 路独立的模拟测
试通道，最大 16 路 AWG/Digitizer。
3、 体积小巧，真正实现零占地面积：
M747 的测试头尺寸小巧。配合相应的 Manipulator，可以灵活地和各种 Probe 或者 hander 配合，几乎
不占用额外的面积。真正实现零占地面积，节约昂贵的洁净厂房空间，提高车间的单位使用率。
4、 具有独立的向量控制结构：
每个数字 option均具有自己独立的向量控制器，所有的高速信号只在 option 内部传
输，各个option 之间的数据交换和数据接口简单，清晰；避免了总线上高速复杂信号的
传输和分配，提高了系统的可靠性和稳定性。
多 Site 测试时还可以满足不同 Site 不同步的需要。
5、 独立的用户时钟：
每个数字 option均提供一路独立于矢量速度的用户时钟，可以提供 0—50M频率。
该时钟用矢量控制开启和关闭，并且和矢量发生电路采用同一个同源同相位的系统时钟。
6、 具有 Per Pin 独立的资源
每个数字测试通道均具有独立的测试设置资源，包括驱动电平，比较电平，延时调
整，输出阻抗调整，动态负载设置等等。
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7、 具有极高的并行测试效率和极丰富的并行配置模式：
M747采用灵活的并行配置模式，可以配置为基于 option 的并行、基于资源的并行
以及基于option 和基于资源的混合配置。
基于option 的并行，达到最高的并行效率，可以高达 95%以上。
基于资源的并行，达到最低的测试资源需求。
基于o
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