采用不同透明电极的非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管 - TFT-LCD关键.PDF

第 卷 第 期 液 晶 与 显 示 ， ２８ １ Ｖｏｌ．２８Ｎｏ．１ 　 　 　 　 　 年 月 ， ２０１３ ２ ＣｈｉｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＬｉｕｉｄＣｒｓｔａｌｓａｎｄＤｉｓｌａｓ Ｆｅｂ．２０１３ ｑ ｙ ｐ ｙ 文章编号： （ ） １００７２７８０２０１３０１００５５０４ 采用不同透明电极的非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管 詹润泽，谢汉萍，董承远 （上海交通大学 电子工程系 关键材料与技术国家重点工程实验室，上海