l制造高压器件的容差阶梯台面腐蚀技术.pdfVIP

3；If- 、 I 制造高压器件的容差阶梯台面腐蚀技术 国营东光电器厂 (湖北荆门434501) 国匕凤兵 东 南 大 学 孔德平 _『 ·乙 1992年4月2O日收到 摘要：本文介绍一种新型的高压器件表面遣型技术，即容差阶梯台面腐蚀技术。它 是在耗尽刻蚀的基础上发展起来的。它利用耗尽刻蚀克服 电场集中和表面效应的机理， 采用常规工艺，通过两次基区扩散、两次台面腐蚀形成阶梯结和阶梯台面，降低耗尽刻 蚀对腐蚀深度的控制要求，使器件具有小角度 负斜角的优 良特性，同时采用内台面结构， 便于玻璃钝化，使器件具有高性能和高可靠性。 1引言 便可行的、国内常规工艺可以实现的、更适合 制造高压器件必须选用有效的边缘造型， 于超高压器件的边缘造型技术，即深浅槽阶梯 并配合以先进的表面钝化工艺，以．克服电场集 台面腐蚀技术。它通过深浅多次台面腐蚀，形 中和表面效应的影响，提高器件的性能和可靠 成阶梯台面，从而降低耗尽刻蚀对腐蚀深度的 性。国外高压器件多采用台面结构和 玻璃 钝 控制要求，保证器件的耐压特性和成品率。我 手 化．也有采用场限制环 (亦即分压环或保护环) 们进一步研究，通过增加一次基区扩散，形成 ． ． 导 2和 电阻性场板 (多层半绝缘多晶硅膜 ) 的 。 阶梯结，进一步降低对腐蚀深度的控制要求， 体 国内有采用非均匀氧化层场板，多重 分压环 这就是容差阶梯台面商蚀技术。它使器件具有 支毒 N 的，但都仅限于耐压要求不太高的器件。国内 小角度负斜角的优 良特性。若同时采用 内台面 术 高压器件多采用磨斜角和腐蚀台面结构。磨斜 结构，便于玻璃钝化，器件具有优 良的高温、 角造型困难、效率低，而且仅适于大尺寸器件。 高压性能和高可靠性。推广使用该技术具有一 背面腐蚀正台面工艺复杂，成品率低。采用砂 定意义。 轮开槽机可以从正面方便地得到正台面，便于 2耗尽翔蚀 钝化，效率高、成品率高、性能好，但国内多 耗尽刻蚀采用腐蚀负台面相同的方法，去 数厂家没有这种设备。负台面适合任何尺寸器 掉pn结重掺杂侧的局部耗尽区，使耗 尽区向 件，工艺简单、效率高，在国内应用广泛。但 结的重掺杂侧扩展，耗尽区在重掺杂侧表面横 由于其高压性能差，仅能甩在低于600V的器件 向拉长，从而减小电场集中和表面 电场。如图 中，而且要求留有较大的耐压余量 以保证其成 1所示。 ， 品率。为了解决这些矛盾，我们在耗尽刻蚀的 图 1中各符号的意义为。 础基上，结合负台面成型工艺，找到了一种简 Q ：重掺杂侧耗尽区被刻蚀掉的负电荷 33 QH。重掺杂侧原耗尽区外附加扩展