蠕动式压电直线驱动器的发展及应用.PDF

综 　述 　　 　　　　　　　　　　　　　　　 　　　　　　　　　　　　　　微特电机 　　2009年第 3 期 　　 echn ica l review T 蠕动式压电直线驱动器的发展及应用 张兆成 ,胡 　泓 (哈尔滨工业大学 ,黑龙江哈尔滨 15000 1) 摘 　要 :综述了国内外尺蠖驱动器的发展及其研究现状 ,列举了一些典型例子 ,总结了尺蠖驱动器的应用领域 。 针对现在的尺蠖驱动器在设计 、材料 、控制等方面存在的问题 ,指出了在其研究开发中需要解决的关键技术 。 关键词 :尺蠖驱动器 ;直线驱动器 ;箝位机构 ;压电叠堆 中图分类号 : TM 38　　文献标识码 :A 　　文章编号 : 1004 - 7018( 2009) 03 - 0056 - 04 D evelopm en t and A pplica tion of Inchworm - Type P iezoelectr ic L inear A ctua tor ZHAN G Z hao - cheng, HU H ong (H arb in In stitu te of Techno logy, H arb in 15000 1, Ch ina) Ab stract: The p re sen t situation of the re search and developm ent of p iezoelectric inchworm actuator wa s in troduced, and som e typ ical examp le s were given. The dom ain s of app lication of p iezoelectric inchworm actuator were de scribed. In the end, the p rob lem s and key techn ique s of p iezoelectric inchworm actuator on asp ects of de sign, m aterials and control etc. were pointed out in th is p ap er. Key word s: inchworm actuator; linear actuator; clamp ing m echan ism ; p iezoelectric stack actuator 驱动器 ,箝位机构或中间驱动器沿着导向机构运动 , 0 引　言 其它部分保持固定 。 随着功能材料的发展 ,利用材料的物性效应实 1966年 ,文献 [ 2 ]利用环形楔实现箝位 ,设计了 现微纳米尺度操作的现代执行器技术引起了国内外 第一个步进 - 推动型尺蠖驱动器 。1968 年 , 文献 的广泛关注 [ 1 ] 。其 中 , 压 电陶瓷位移器类执行器 [ 3 ]设计了第一个管状步进型尺蠖驱动器 。1972 ( ) ( 年 ,文献 [ 4 ]设计了第一个完全意义上的步进型尺 驱动器 具有形状尺寸灵活 、惯性小 、响应快 微秒 ) ( ) 蠖驱动器 ,采用平面箝位方式 ,是当时最典型构型之 级 、输出负载大