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2017-07-15 发布于浙江
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Si基微纳集成光波导的理论设计.pdf

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Si基微纳集成光波导的理论设计

第卷增刊半导体学报 *’ aD2*’ % D9196C ! ! ! ! ! GG 年月 $ *++. ’ #8Q!%!M_e]Q$?_^%!=#_QNe#[_]% M69*++. 基微纳集成光波导的理论设计# 6J 陈志文李章健朱启乐赵玉周林旭彬李静蔡志岗王钢李宝军 ! ! ! ! ! ! ! ! ! ! # $ % 中山大学光电材料与技术国家重点实验室广州 .,+*). ! ’ ’ ’ $ 摘要提出了一种宽度从微米到亚微米深亚微米再到纳米级渐变的微纳集成结构光波导并通过理论分析和模拟计算得到了基于 $ 基半导体材料的微纳集成光波导参数其制作工艺非常简单插入损耗在之间这 %; 2 , *b.I\ 2 种微纳集成光波导不但可解决芯径为的单模光纤与纳米量级的光子晶体波导器件间的光对接耦合和互连 ,+ 1 ’ $ $ 等难题还可缩小光波导器件芯片的单元尺寸有利于提高器件的集成度为光电子器件向纳米光子集成方向的发 2 展提供了新途径$ 为新一代全光通信用微纳新原理光电子器件及功能集成的发展提供了新思路2 ’ ( ( ( 关键词微纳集成光波导集成光学集成光子学 ) ( $% (*-+? (*-* 中图分类号’ 文献标识码’ 文章编号’ $ [Q*.’ $ +*.0J(,))*++.%+J+**WJ+( ! ! ! ! ! ! $ $ 单元尺寸从而有利于提高集成度因此一种经济 2 可行易于见效的思路和途径是结合纳米技术进行