化学机械研磨举动と表面生成物の物性との相关性 - j-stage journals.pdfVIP

252 表面技術 技術論文 化学機械研磨挙動と表面生成物の物性との相関性 a* a b b 馬渕　勝美 ，本棒　享子 ，天野倉　仁 ，小野　　裕 a ㈱日立製作所 日立研究所（〒319︲1292　茨城県日立市大みか町7︲1︲1） b 日立化成工業㈱新事業本部（〒317︲8555　茨城県日立市東町4︲13︲1） Correlativity with Properties of Surface Products and Chemical Mechanical Polishing Behavior a* a b