半导体玻璃微通道板制造工艺研究.pdfVIP

下载本文档

114
1
约1.48万字
约 5页
2017-07-16 发布于北京
举报
版权申诉

半导体玻璃微通道板制造工艺研究.pdf

1、本文档共5页，可阅读全部内容。
2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第16卷第4期材料科学与工艺 VOL16Nn4 200 Aug．，2008 8年8月 MATERIALS SCIENCETECHNOLOGY 半导体玻璃微通道板制造工艺研究王中俭，胡一晨，姜建华，陆剑英 (华东理工大学无机材料系，上海200237，E-mail：huychlg@ecust．edu．ca) 摘要：体电导半导体玻璃微通道板具有优异的性能，为了突破其制造工艺的技术难关，研究和分析了过程技术参数以及缺陷成因．以磷酸盐系统半导体玻璃和酸溶玻璃作为微通道板单纤维的皮料和芯料，在电炉中熔制得到玻璃纤芯及皮料的母棒，然后根据两种玻璃的性能及工艺参数，采用光纤自动成纤系统研究了适合双坩埚法单丝拉制的工艺．重点讨论了拉丝温度和速度、玻璃液位、气氛等关键因素对成纤过程和微通道板质量的影响．通过单丝和复丝的拉制，排丝、压屏、切割和酸溶等过程，最终获得了直径为20咖，孔径为 6～7岬，像素大于400万的体电导玻璃微通道板的雏形．关键词：微通道板；体电导；半导体玻璃；双坩埚；制造工艺中图分类号：TN253文献标识码：A文章编号：1005—0299(2008)04—0526—05 Fabricationofmicrochannel process platebyusing bulkconductive semiconductingglass WANG Yi-then，jIANGJian-hua，LU Zhong-jian，HU Jian—ying China ofScienceand (Dept．ofInorganicMaterials，EastUniversity Technology。 Shanghai 200237，．China，E—mail：huychlg@eeust．edu．ca) double-cruciblefabricationofmicrochannel studied bulk Abstract：The process plate(MCP)wasbyusing was and soluble conductive used鹪the anacid glass．Aphosphatesemi—conductingglass cladding glass船the corefortheMCP’S fiber．Basedontheir wereestablished． single workingproperties，operatingparameters inall TheCO—axil fiberWas a double·crucibleautomatic influenceof single pulledby fiberizingsystem．The levelinthe and