半导体制造行业清洁生产审核温室气体减排量计算方法探讨.pdfVIP

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2017-07-16 发布于北京
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半导体制造行业清洁生产审核温室气体减排量计算方法探讨.pdf

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第38卷第3期环境科学与管理 VoL38No．3 ENVⅡloNM哐NTALSClENCE 2013年3月 ANDⅣIANAGEM匮NT Mal．2013 文章编号：1674—6139(2013)03—0169—03 半导体制造行业清洁生产审核温室气体减排量计算方法探讨丁飞 (上海市环境科学研究院，上海200233) 摘要：随着全球气候的不断恶化，国际社会对于二氧化碳减排的呼声越来越高，中国正面临着严峻的二氧化碳减排形势。通过对半导体制造企业的温室气体贮存使用过程的深入研究和温室气体治理工艺的详细调查，结合半导体制造企业温室气体治理设施的处理工艺的处理效率统计方法，建立了半导体制造行业清洁生产审核温室气体减排量计算方法，为清洁生产审核计算温室气体减排量提供了重要的参考依据。关键词：半导体制造；温室气体；清洁生产中图分类号：X38 文献标识码：B DiscussiononCalculationMethodsofGreenhouseGasEmissionReduction ProductionAuditProcessinSemiconductor duringCleaning ManufacturingIndustry Fei Ding ofEnvironmental 200233，China) (ShanghaiAcademy Sciences，Shanghai toresearchesonthe of insemiconductor enterpri— Abstract：According processgreenhousegasesstorage／using manufacturing sesand on calculationmethodsof emissionreductionaudit investigationgreenhousegasgovernanceprocess，the greenhousegas the werefound thestatisticalmethodsof in treatment duringcleaningproduction bycombining processingefficiencygreenhousegas facilitiesofsemiconductor an referencefor auditscal— enterprise．Thisprovidesimportant cleaningproduction manufacturing paper culationof emissionreductions． greenhousegas Keywords：semiconductor manufacturing；greenhousegas；cleanerproduction；室气体排放和间接温室气体排放。直接温室气体排刖旨放出现在企业持有或控制的排放源，如企业生产过随着全球气候的不断恶化，国际社会对于二氧程中使用温室气体