太陽能電池片生產設備 - SVCS Process Innovation.PDF

太陽能電池片生產設備 用半導體的品質標準應用於太陽能高效電池片生產 簡介 SVCS 將多年半導體行業的經驗與特有的品質帶入太陽能電池片生產中。SV SOL家族 設備包括應用於磷擴散，硼擴散應用的批次式水平擴散爐，應用於抗反射塗層和護 層應用的PECVD及LPCVD的批次式水平式擴散爐；超高純度氣體和液體傳輸系統。 所有設備同時可以應用於量產和研發條件。 • 磷、硼摻雜 / 擴散應用的常壓擴散爐（POCl , BBr 等） 设备 3 3 • 先進高產量POCl 製程應用的低壓LPCVD擴散爐 3 • 應用於氮化矽抗反射塗層和護層的批次式水平PECVD擴散爐 • 高純度氣體的全自動/手動氣源櫃（SiH , NH , O ,等） 4 3 2 • 全自動/手動的獨立氣體/液體傳輸管線中的分配箱，供應給各擴散爐和其他的設備 • 擴散爐之氣泡式氣化瓶中液態材料的全自動溫度控制（POCl , BBr 等） 3 3 • 擴散爐之氣泡式氣化瓶中液態材料的中央供應系統 • 乾式 / 濕式氧化製程的批次式水平擴散爐（護層passivation、源極光罩效應 emitters masking和其他生產上的需求等） • 降低高溫液排出系統（scrubbers）） 太陽能電池片生產設備 用半導體的品質標準應用於太陽能高效電池片生產 磷、硼摻雜製程的批次式擴散爐 擴散 SVCS擴散爐為提供出色的磷、硼摻雜製程結果，且提升最大產能而設計的系統， 以及為少量產能且應用於光伏之研發和試產領域提供靈活的彈性。可以提供方便於 維護、安全及可靠的水平式擴散爐平台，SVCS傑出的設計呈現在高效率、機台小 的佔地尺寸及低成本上，為生產提供高的製程彈性解決方