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1034XA-6 自动探针台操作规范
作者：刘爱华
版本号：1.0
1、设备名称：1034XA-6 自动探针台
型号： 1034XA-6
序号：
图1 设备所在位置（ 标示处）
2 、设备功能和规格指标 ：
（1）设备功能：1034XA-6 自动探针台是一种精密测试设备，用于芯片测试和芯
片性能分档。其基本功能是跨接在晶圆片和测试仪之间，通过探针提供从
晶圆片各压焊管脚到测试仪器之间的电学连接。该设备由探针台模块和电
源模块组成，能实现快速、精确的X-Y二维定位，圆片对准采用半自动方
式进行，对于失效芯片由打点器自动打点标记。探针台运行在程序控制下
自动进行，测试圆片最大为5”(直径127mm)。
（2 ）规格指标：
①探针台模块：长762mm、宽610mm
②电源模块：长381mm、宽610mm
③外接动力：110V/220V AC，50/60Hz
④压缩空气：65~85psi
⑤真空：45.7cm~63.5cm Hg
⑥X-Y定位系统运行范围：5” （直径127mm）
⑦运行速度：每秒5”(127mm)，即每秒10000步
⑧步进范围：英制0.0005”~4.995”(分辨率0.0005”)
公制0.005mm~99.95mm(分辨率0.005mm)
⑨打点器和探边器：可控制6个打点器和1个探边器
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3、设备说明：
显微镜
高度调节旋钮
显微镜照明灯开关 探边器
参数设置面板
打点器 上料位置
探针台小显示屏
载片吸盘CHUCK
操作控制面板
θ驱动手柄
探针台模块
（a ）
散热风扇
主机电源
电源模块
(b)
图2 设备照片
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4 、开机操作：
（1）打开压缩空气阀 （逆时针为开），自动探针台后面板的压力表指示应为
4.5~5.8kg/cm2 （65~85PSI ）。
（2 ）打开真空阀 （逆时针为开）。
（3 ）打开自动探针台总电源（即电源插座开关），确认散热风扇处于转动状态
（见图2(b) ）。
（4 ）打开自动探针台电源模块上的主机电源（见图2(b) ，ON为开启）。
（5 ）打开显微镜照明灯开关（见图2(a) ）。
（6 ）按一下接口面板（自动探针台后部）上的REALIGN （复位）按钮（见图3 ），
用右手将载片吸盘（CHUCK ）拉动到右下角的上料位置 （见图2(a) ），右
手不要松开的同时左手按一下操作控制面板上的红色STOP键（见图7 ）。
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