扫描电子显微镜和其在材料科学中的应用.pdfVIP

第! 卷# 第! 期# 吉 # 林 # 化# 工# 学# 院# 学# 报 $%’ ! (%’ ! # !))* 年 月 +,-.(/0 ,1 +202( 2(3424-45 ,1 675826/0 4567(,0,9: /;’ # !))* ! ! 文章编号：?))*B!CD（!))* ）)!B))C?B) 扫描电子显微镜及其在材料科学中的应用 朱# 琳 （吉林化工学院分析中心，吉林吉林?!)!! ） 摘要：介绍了扫描电子显微镜的工作原理、结构特点及其发展，阐述了扫描电子显微镜在材料科学领域中的应 用’ 关 键 词：扫描电子；微镜；材料；应用 中图分类号：4( ?A# # # # # 文献标识码：E # # 二十世纪A) 年代以来，出现了扫描电子显微镜 地转换成视频信号，再传送到同步扫描的显像管并 （358）技术，这样使人类观察微小物质的能力发生 调制其亮度，就可以得到一个反应试样表面状况的 质的飞跃’ 依靠扫描电子显微镜的高分辨率、良好的 扫描图’ 如果将探测器接收到的信号进行数字化处 景深和简易的操作方法，扫描电子显微镜（358 ）迅 理即转变成数字信号，就可以由计算机做进一步的 速成为一种不可缺少的工具，并且广泛应用于科学 处理和存储’ 扫描电镜主要是针对具有高低差较大、 研究和工程实践中’ 粗糙不平的厚块试样进行观察，因而在设计上突出 近年来，随着现代科学技术的不断发展，相继开 了景深效果，一般用来分析断口以及未经人工处理 发了环境扫描电子显微镜（5358 ）、扫描隧道显微 的自然表面’ 镜（358）、原子力显微镜（/18）等其它一些新的电 子显微技术’ 这些技术的出现，显示了电子显微技术 近年来自身得到了巨大的发展，尤其是大大扩展了 电子显微技术的使用范围和应用领域’ 在材料科学 中的应用使材料科学研究得到了快速发展，取得了 许多新的研究成果’ ?# 扫描电子显微镜原理 扫描电镜（3FGHHIHJ 5KFL%H 8IF%MF%;K ），简写 为358，是一个复杂的系统，浓缩了电子光学技术、 图! 电子束探针照射试样产生的各种信息 真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术’ 扫描电子显微镜（358）中的各种信号及其功能 扫描电镜是在加速高压作用下将电子枪发射的电子 如表? 所示’ 经过多级电磁透镜汇集成细小的电子束’ 在试样表 表! 扫描电镜中主要信号及其功能 面进行扫描，激发出各种信息，通过对这些信息的接 收、放大和显示成像，以便对试样表面进行分析’ 入 收集信号类别 功# # 能 射电子与试样相互作用产生如图? 所示的信息种 二次电子 形貌观察 背散射电子 成分分析 类’ 特征N 射线 成分分析 这些信息的二维强度分布随试样表面的特征而 俄歇电子 成分分析 变（这些特征有表面形貌、成分、晶体取向、电磁特性 等），是将各种探测器收集到的信息按顺序、成比率 收稿日期：!))* = ) = )! 作者简介：朱# 琳（?@AA = ），女，吉林九台人，吉林化工学院工程师，主要从事分析化学及仪器分析方面的研究’ 万方数据 * + + 吉+ 林+ 化+ 工+ 学+ 院+ 学+ 报+ + --’ 年+ + 扫描电镜可做如下观察：