JJG0101996分析型扫描电子显微镜检定规程.pdfVIP

分析型扫描电子显微镜检定规程 1. 分析型扫描电子显微镜检定规程的说明 编号 JJG(教委)010-1996 名称 (中文) 分析型扫描电子显微镜检定规程 (英文) Verification regulation for analytical scanning electron microscope 归口单位 国家教育委员会 起草单位 国家教育委员会 主要起草人 万德锐 林承毅 批准日期 1997 年 1 月 22 日 实施日期 1997 年 4 月 1 日 替代规程号 无 适用范围 本规程适用于新安装、使用中和维修后的各种分析型扫描电子显 微镜( 以下称扫描电镜) 的检定。 主要技术要求 1.外观要求 2.安装条件 3.检定环境 4.检定用标样及设备 5.检定项目 是否分级 无 检定周期(年) 3 附录数目 2 出版单位 科学技术文献出版社 检定用标准物质 相关技术文件 备注 2. 分析型扫描电子显微镜检定规程的摘要 2 范围 本规程适用于新安装、使用中和维修后的各种分析型扫描电子显微镜( 以下称扫描电镜) 的检定。 2.1 原理 经过电子光学系统聚焦的电子束在样品表面扫描，受照射的部位便激发出二次电子、背 散射电子、特征X射线等多种物理信号。这些信号经检测、放大后，用来调制阴极射线管的 亮度，即可观察到样品的图像。通过对特征X射线的检测、校正和计算，便可对样品进行元 素成分的定性和定量分析。 2.2 构成 分析型扫描电镜是由常规的扫描电镜和X射线能量色散谱仪两部分组合而成。它既能观 察样品的微观形貌和结构，又能分析样品微区的元素成分。 扫描电镜，由电子光学系统、信号检测和放大系统、扫描系统、图像显示和记录系统、 电源系统以及真空冷却系统等部分组成。扫描电镜按其电子枪类型和分辨率等性能分为热发 射普通型、热发射精密型和场发射精密型三个等级(表1)。X射线能量色散谱仪，简称X射线 能谱仪，由半导体探测器、前置放大器、主放大器、脉冲堆积排除器、模拟数字转换器、多 道分析器、计算机以及显示器和打印机等组成。因此，分析型扫描电子显微镜是在常规扫描 电镜的基础上增加了X射线的检测、放大、显示、记录、校正和计算等装置。 3 计量单位 计数率 用检测器中每秒钟的计数CPS(Count Per Second)来表示，单位为s－1 。 4 计量要求 4.1 扫描电镜技术指标 新安装的各种扫描电镜应符合说明书中规定的技术指标。 使用中和修理后的各种扫描电镜应符合本规程表1中规定的技术指标。 表1 各种扫描电镜的主要性能和技术指标 扫描电镜类型 热发射普通型 热发射精密型 场发射精密型 电子枪类型 钨丝电子枪 钨丝或六硼化镧 场发射电子枪 工作真空度 10－3Pa 10－3Pa～10－5Pa 10－8Pa 仪器启动抽真空时间 30min 25min 20min 更换样品抽真空时间 5min 4min 3min 续表 扫描电镜类型 热发射普