Vol.4No.5May.010CMOS非制冷红外传感器的热学设计.PDFVIP

Vol. 4 No.5/ May. 010 CMOS非制冷红外传感器的热学设计 陈蓉　俞挺 摘 要 对于非制冷红外传感器来说，器件的总热导同时影响着响应率和热响应速度，是一个至关重要的量。本文基于 0.18μm的标准CMOS工艺，以易与IC工艺兼容的二极管型非制冷红外传感器为研究目标，首先分析几个重要结构参数对 象元热学特性的影响，其次利用有限元仿真软件ANSYS对象元的温度分布和瞬态热响应进行仿真，以仿真结果为参考对象 元的几个重要结构参数进行优化，最终得到一组性能较优的结构参数。 关键词 CMOS；红外传感器；热学设计；有限元 1 引言 红外传感器根据工作原理的不同可分为光子型红 得到了性能较优的结构参数。 外传感器和非制冷红外传感器-[1]。光子型红外传感器 2　非制冷红外传感器的结构原理和性 采用窄禁带半导体材料，利用光电效应实现红外光信 号向电信号的转换。光子型红外传感器存在着两大弊 能参数 端：一是它工作在低温环境下，需要笨重、复杂的制 2.1 红外传感器的原理和结构 冷设备，使器件难以小型化；另外，窄禁带半导体材 料价格昂贵、制备困难，不能与CM0S工艺兼容，使 二极管型红外传感器是一种利用PN结良好的温 光子型红外传感器的价格昂贵。相比之下，非制冷红 度特性，通过探测二极管两端的电压变化来感知红外 外传感器不需要复杂的制冷设备因而具有体积小，价 辐射的新型传感器。这种红外传感器的制作工艺采用 格便宜的优势。 单片集成且与CMOS工艺完全兼容，后处理工艺非常 简单，成本相对较低，非常适合大批量的生产[4]。 按照信号读出方式的不同，非制冷红外传感器 可以分为电学读出方式和光学读出方式[2]。其中电学 红外焦平面上的象元通过表面的红外吸收层吸收 读出方式是一种比较常见的传统信号读出方式，也是 红外辐射，引起象元温度上升，象元中的温度敏感单 目前非制冷红外传感器使用的主流读出方式。再根据 元(二极管)通过自身的温度电压特性将象元的温升信 红外传感器敏感元的不同物理机理，电学读出又可分 号转化为电信号并输出。 为：热敏电阻型、热释电型、热电堆型、二极管型、 热电容型等[2]。光学读出方式的非制冷红外传感器是 一种新型的双材料悬臂梁结构传感器。但目前此类红 外传感器的研究尚处于实验室阶段。国外主要研究单 位有美国Oak Ridge(橡树岭)国家实验室、加利福尼 亚大学、美国Sarcon微系统公司等[3]。 本文以易与IC工艺兼容的二极管型非制冷红外传 感器为研究目标，基于0.18μm的标准CMOS工艺， 图1 非制冷红外传感器象元结构图 对象元的结构设计进行了研究。对于热传感器来说， 图1所示的微桥结构是同类型传感器的一个主流 器件的总热导是一个至关重要的量，在象元的薄膜体 结构。红外焦平面由一系列这样的象元组成面阵列， 系确立之后，其总热导的大小取决于结构设计。本文 每个象元由矩形敏感区域和支撑臂组成，悬空于衬底 针对几个重要结构参数对热学特性的影响进行了详细 之上。携带自身温度信息的目标物体发射的红外线经 的阐述，并利用有限元仿真软件ANSYS对象元受热达 过红外成像系统被敏感区域上层的红外吸收层吸收， 到稳态后的温度分布状态和瞬态热响应进行了仿真， 敏