Model 760 电容压力计绝对压力传感器.PDF

绝对压力传感器 Mode60l 7 电容压力计绝对压力传感器 R 适用于与Inconel 或Inconel/不锈钢相容的气体 绝对压力范围：0-10 Torr至0 -1000Torr , 0-10 m bar/h pa至0-1000mbar/ hpa 0-2 psia至0-20psia, 0-2 kpa至0-100kpa 介绍 Setra Model 760 电容压力计是为精确的、可重复的真空测量而设计的压力传感 器。满量程范围从1Torr到100 0Torr。测量单位可以是Tor r, mbar/ hpa , k pa或psia。 Model760的工作电压是 15VDC, 输出0-10VDC或0-5VDC, 输出与压力成线性关系， 而且与气体成分无关。电气连接件可以是工业标准15针D型插座或6位接线端子板。采 用金属外壳、巨涌和ESD抑制元件以及输入输出的RFI过滤等技术，Model 760具有卓 越的EMI/RFI 性能。Model 760有一个完整的滑面，很容易提供有精确的零点调节和量 R 程调节的多匝电位计。Inconel 材质适用于全部湿原料所以可测量腐蚀性气体，另外 可提供不同类型的压力和真空接头。Mo del 760中高精度的压力传感元件Vactron sensor,是在Setra专利技术可变电容传感技术基础上发展来的。在敏感元件中央有一 个馈入装置组件支持一个邻近膜片后表面的圆电极。电极和膜片在一个低压接近真空 的空间内组成了一个可变电容。这一电容的变化被Setra独特的集成电路检测并被转换 成高精度的线性直流信号，该集成电路是根据西特专利技术负荷平衡原理设计的。 Model 760采用革新的传感设计获得了卓越的零点稳定性和大气压非敏感性。Mod el 应用 760传感器包含了不易脆的或合成的部件，形成了与陶瓷式结构相似的电容式压力计。 半导体过程工具和装置 注：S etra坚持严格的质量标准ANS I-Z540 -1。此产品的标定源于N IST。 实验室和研究开发 试验和测量 度量 Mode0l性能7规6范 分析化学系统 性能参数 精度A 0.25% of Reading 优点 ± 精度B 0.15% of Reading ± 卓越的热稳定性 温度影响 出众的EMI/RFI性能 补偿范围 0~+ 5 0℃(+32～+ 122 °F) 零点偏移 0.005%FS/℃ 低价位